[發(fā)明專利]壓電致動(dòng)器、致動(dòng)器系統(tǒng)、襯底支撐件和包括致動(dòng)器的光刻設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980053400.X | 申請日： | 2019-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN112567541A | 公開（公告）日： | 2021-03-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | B·簡森;H·巴特勒;A·P·戴克舒恩 | 申請（專利權(quán)）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | H01L41/09 | 分類號： | H01L41/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電 致動(dòng)器 系統(tǒng) 襯底 支撐 包括 光刻 設(shè)備 | ||
1.一種壓電致動(dòng)器，所述壓電致動(dòng)器包括：
具有第一表面和第二表面的壓電材料，其中所述第一表面沿第一方向和第二方向布置；
第一對電極，所述第一對電極包括被布置在所述第一表面上的第一電極和被布置在所述第二表面上的第二電極；
第二對電極，所述第二對電極被布置用以剪切所述壓電材料，
其中所述第一對電極被布置用以沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向伸長所述壓電材料，
其特征在于，
所述第一電極被分成至少兩個(gè)部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動(dòng)器，其中，所述第一電極被布置用以使所述第一表面和所述第二表面繞所述第一方向相對于彼此旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電致動(dòng)器，其中，所述第二對電極被布置用以當(dāng)剪切所述壓電材料時(shí)使所述第一表面和所述第二表面相對于彼此移動(dòng)。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的壓電致動(dòng)器，其中，所述至少兩個(gè)部分沿所述第一方向延伸跨越所述第一表面。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的壓電致動(dòng)器，其中，所述至少兩個(gè)部分包括九個(gè)部分，其中這九個(gè)部分被布置成沿所述第一方向的三行和沿所述第二方向的三列。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的壓電致動(dòng)器，其中，所述第一電極延伸超出所述第一表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電致動(dòng)器，其中，所述第二對電極包括被布置在第三表面上的第三電極和被布置在第四表面上的第四電極，其中所述第一電極延伸到所述第三表面和第二表面中的至少一個(gè)表面上。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的壓電致動(dòng)器，包括第三對電極，
其中，所述第三對電極被布置用以剪切所述壓電材料，
其中，所述第三對電極被布置用以當(dāng)剪切所述壓電材料時(shí)使將所述第一表面和所述第二表面沿所述第一方向相對于彼此移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電致動(dòng)器，其中，所述第三對電極包括被布置在第五表面上的第五電極和被布置在第六表面上的第六電極，其中所述第一電極延伸到所述第五表面和所述第六表面中的至少一個(gè)表面上。
10.一種壓電致動(dòng)器系統(tǒng)，所述壓電致動(dòng)器系統(tǒng)包括根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的壓電致動(dòng)器，所述壓電致動(dòng)器系統(tǒng)還包括放大器，其中所述放大器被布置用以為所述部分中的一個(gè)部分提供第一電壓或電荷并且為所述部分中的另一部分提供第二電壓或電荷，其中所述第一電壓或電荷不同于所述第二電壓或電荷。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓電致動(dòng)器系統(tǒng)，其中，所述放大器包括多個(gè)放大器，其中所述多個(gè)放大器中的一個(gè)放大器被布置用以提供所述第一電壓或電荷，并且其中所述多個(gè)放大器中的另一放大器被布置用以提供所述第二電壓或電荷。
12.一種被布置用以支撐襯底的襯底支撐件，所述襯底支撐件包括多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至9所述的壓電致動(dòng)器，其中所述多個(gè)壓電致動(dòng)器被布置用以支撐所述襯底。
13.一種光刻設(shè)備，所述光刻設(shè)備包括：
掩模支撐件，所述掩模支撐件被布置用以保持具有圖案的圖案形成裝置，
襯底支撐件，所述襯底支撐件被布置用以支撐襯底，
投影系統(tǒng)，所述投影系統(tǒng)被布置用以將所述圖案投影在襯底上，
其中所述掩膜支撐件和所述襯底支撐件中的至少一個(gè)具備多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至9所述的壓電致動(dòng)器，
其中所述多個(gè)壓電致動(dòng)器被布置用以支撐所述圖案形成裝置和所述襯底之一。
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