[發明專利]有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物

在審

• 申請號: 201980052922.8
• 申請日: 2019-07-05
• 公開（公告）號: CN112543890A
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 李秀珍;李昇勛;李昇炫
• 申請（專利權）人: 榮昌化學制品株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/20
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

所述有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物包含在有機-無機雜化光刻膠的薄膜形成工藝、顯影工藝、剝離工藝中使用的以下化學式1，

所述化學式1中R₁、R₂及R₃相互獨立地為碳數為1至6的烷基、芐基或烷基醇基。

2.根據權利要求1所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

所述有機-無機雜化光刻膠的無機物是選自由鈷、銻、鉿、鈀、錫或它們的混合物組成的組中的任一種。

3.根據權利要求1所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

所述有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，由

i)化學式1的化合物；及

ii)酮類、酯類、醚類、添加劑或它們的混合物，組成。

4.根據權利要求3所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

所述有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，由

i)化學式1的化合物70至99重量％；及

ii)酮類、酯類、醚類、添加劑或它們的混合物1至30重量％，組成。

5.根據權利要求4所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

所述有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物由：

i)化學式1的化合物70至95重量％；以及

ii)酮類、酯類、醚類、添加劑或它們的混合物5至30重量％，組成。

6.根據權利要求3所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

化學式1的化合物為乙酰丙酮。

7.根據權利要求3所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

酮類為2-庚酮、環己酮、環戊酮或它們的混合物。

8.根據權利要求3所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

酯類為丙二醇單甲醚乙酸酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、γ-丁內酯、乳酸乙酯、羥基異丁酸甲酯或它們的混合物。

9.根據權利要求3所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

醚類為丙二醇單甲醚。

10.根據權利要求3所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

添加劑為螯合劑或表面活性劑。

11.根據權利要求10所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

螯合劑為離子性液體、二羥基苯甲酸、草酸、檸檬酸、蘋果酸、酒石酸或它們的混合物。

12.根據權利要求10所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

表面活性劑為聚丙二醇、聚天冬氨酸或它們的混合物。

13.根據權利要求1至12中任一項所述的有機-無機雜化光刻膠工藝液體組合物，其特征在于，

由電子束、EUV、ArF及KrF激光的照射執行有機-無機雜化光刻膠圖案化工藝。