[發明專利]致動器的感測裝置以及致動器的控制系統

有效

• 申請號: 201980051023.6
• 申請日: 2019-08-01
• 公開（公告）號: CN112514552B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 福島克也;石井正志;丹羽弘樹;林茂樹;鈴木明;大賀和人;和久田翔悟;原聰史;水野智史
• 申請（專利權）人: THK株式會社
• 主分類號: H05K13/04
• 分類號: H05K13/04;B25J15/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

1.一種致動器的感測裝置，其是應用于致動器的感測裝置，所述致動器具備：軸，所述軸能夠沿軸向移動，且至少在所述軸的前端部側具有通過使所述軸的內部成為中空而形成的中空部；以及外殼，所述外殼以所述軸的前端部側向外部突出的方式收容所述軸的一部分，所述致動器通過在所述中空部產生負壓而使工件吸附于所述軸的前端部，并將所述工件拾起，其中，

所述致動器的感測裝置具備：

空氣通路，其是配置于在所述外殼 的外部設置的泵與所述中空部之間的所述外殼內的通路，且是在使所述軸的所述中空部為負壓時供通過所述泵從所述中空部吸出的空氣流通的通路；

閥裝置，其設置于所述外殼內的所述空氣通路的中途，用于阻斷或允許從所述中空部吸出的空氣的流動；

壓力傳感器，其設置于所述外殼內的所述閥裝置與所述中空部之間的所述空氣通路的中途，且對所述空氣通路內的壓力進行檢測；以及

流量傳感器，其設置于所述外殼內的所述中空部與所述壓力傳感器之間的所述空氣通路的中途，且對在所述空氣通路中流動的空氣的流量進行檢測。

2.一種致動器的控制系統，所述致動器具備權利要求1所述的感測裝置，其中，

所述致動器的控制系統具備控制裝置，所述控制裝置在由所述流量傳感器檢測出的流量減少到規定流量以下時、和/或由所述壓力傳感器檢測出的壓力降低到規定壓力以下時，使所述軸向軸向上側移動，從而進行所述工件的拾起。

3.一種致動器的控制系統，所述致動器具備權利要求1所述的感測裝置，其中，

所述致動器的控制系統具備控制裝置，所述控制裝置在使所述軸沿軸向從所述軸的前端部與所述工件分離的位置朝向所述軸的前端部與所述工件接觸的位置移動的情況下，控制所述閥裝置，以使得在所述軸的前端部與所述工件接觸前的時刻、且設定為在所述軸的前端部與所述工件接觸時所述流量傳感器或者所述壓力傳感器中的任一方的檢測值開始變化的時刻，將從所述中空部吸出的空氣的流動從阻斷狀態變更為允許狀態。