[發明專利]研磨墊及研磨加工物的制造方法在審
| 申請號： | 201980049927.5 | 申請日： | 2019-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN112512747A | 公開（公告）日： | 2021-03-16 |
| 發明（設計）人： | 松岡立馬;栗原浩;鳴島早月;高見澤大和 | 申請（專利權）人： | 富士紡控股株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/24 | 分類號： | B24B37/24;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 楊宏軍;李國卿 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 加工 制造 方法 | ||
1.研磨墊，其具備聚氨酯片作為研磨層，
在浸水狀態下以頻率1.6Hz、20～100℃的條件進行的動態粘彈性測定中，所述聚氨酯片在40～60℃的范圍內具有損耗角正切tanδ的峰。
2.根據權利要求1所述的研磨墊，其中，所述損耗角正切tanδ的峰的值為0.15～0.35。
3.根據權利要求1或2所述的研磨墊，其中，在浸水狀態下以頻率1.6Hz、20～100℃的條件進行的動態粘彈性測定中，40℃時的所述聚氨酯片的損耗彈性模量E”的值為21MPa以上。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的研磨墊，其中，在浸水狀態下以頻率1.6Hz、20～100℃的條件進行的動態粘彈性測定中，所述聚氨酯片的60℃與70℃時的損耗角正切tanδ之差A小于50℃與60℃時的損耗角正切tanδ之差B、和70℃與80℃時的損耗角正切tanδ之差C。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的研磨墊，其中，所述聚氨酯片包含聚氨酯樹脂和分散于該聚氨酯樹脂中的中空微粒。
6.研磨墊，其具備聚氨酯片作為研磨層，
該聚氨酯片在浸水狀態下以頻率1.6Hz、20～100℃的條件進行的動態粘彈性測定中的損耗角正切tanδ的峰溫度A、與在干燥狀態下以頻率1.6Hz、20～100℃的條件進行的動態粘彈性測定中的損耗角正切tanδ的峰溫度B之差為25～47℃。
7.根據權利要求6所述的研磨墊，其中，所述峰溫度A相對于所述峰溫度B的變化率為0.45～0.65。
8.根據權利要求6或7所述的研磨墊，其中，所述峰溫度A低于所述峰溫度B。
9.根據權利要求6～8中任一項所述的研磨墊，其中，所述峰溫度A時的損耗角正切tanδ的峰值α為0.15～0.35。
10.根據權利要求6～9中任一項所述的研磨墊，其中，所述峰溫度B時的損耗角正切tanδ的峰值β為0.15～0.35。
11.根據權利要求6～10中任一項所述的研磨墊，其中，所述峰溫度A時的損耗角正切tanδ的峰值α為所述峰溫度B時的損耗角正切tanδ的峰值β以上。
12.根據權利要求6～11中任一項所述的研磨墊，其中，所述聚氨酯片包含聚氨酯樹脂和分散于該聚氨酯樹脂中的中空微粒。
13.研磨加工物的制造方法，其具有下述研磨工序：在研磨漿料的存在下，使用權利要求1～12中任一項所述的研磨墊來研磨被研磨物。
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