[發明專利]空間可變晶圓偏置功率系統

在審

• 申請號: 201980049348.0
• 申請日: 2019-07-29
• 公開（公告）號: CN112514254A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 肯尼斯·米勒;迪麥西·津巴;約翰·卡斯凱德;詹姆斯·普拉格;艾麗亞·斯勞伯道夫
• 申請（專利權）人: 鷹港科技有限公司
• 主分類號: H03K3/01
• 分類號: H03K3/01;H03K3/017;H03K3/64;H03K3/78;H01J37/02
• 代理公司: 上海君立衡知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31389
• 代理人: 黃慶

一種等離子體沉積系統，其包括晶圓平臺、第二電極、第一電極、第一高電壓脈沖發生器和第二高電壓脈沖發生器。在一些實施例中，所述第二電極可以部署得與所述晶圓平臺接近。在一些實施例中，所述第二電極可以包括：盤形狀，其具有中心孔徑；中心軸；孔徑直徑和外徑。在一些實施例中，所述第一電極可以部署得與所述晶圓平臺接近并且處于所述第二電極的所述中心孔徑內。在一些實施例中，所述第一電極可以包括盤形狀、中心軸和外徑。在一些實施例中，所述第一高電壓脈沖發生器可以與所述第一電極電耦合。在一些實施例中，所述第二高電壓脈沖發生器可以與所述第二電極電耦合。

相關申請的交叉引用

本申請要求題為“NANOSECOND PULSER SYSTEM”的2018年7月27日提交的美國臨時專利申請No.62/711,464的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“NANOSECOND PULSER THERMAL MANAGEMENT”的2018年7月28日提交的美國臨時專利申請No.62/711,334的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“NANOSECOND PULSER PULSE GENERATION”的2018年7月27日提交的美國臨時專利申請No.62/711,457的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求2018年7月27日提交的題為“NANOSECOND PULSER ADC SYSTEM”的美國臨時專利申請No.62/711,347的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“EDGE RING POWER SYSTEM”的2018年7月27日提交的美國臨時專利申請No.62/711,467的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“NANOSECOND PULSER BIAS COMPENSATION”的2018年7月27日提交的美國臨時專利申請No.62/711,406的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“NANOSECOND PULSER CONTROL MODULE”的2018年7月27日提交的美國臨時專利申請No.62/711,468的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“PLASMA SHEATH CONTROL FOR RF PLASMA REACTORS”的2018年8月10日提交的美國臨時專利申請No.62/711,523的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“EFFICIENT NANOSECOND PULSER WITH SOURCE AND SINKCAPABILITY FOR PLASMA CONTROL APPLICATIONS”的2019年1月1日提交的美國臨時專利申請No.62/789,523的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“EFFICIENT ENERGY RECOVERY IN A NANOSECOND PULSERCIRCUIT”的2019年1月1日提交的美國臨時專利申請No.62/789,526的優先權，其通過其完整引用合并于此。

本申請要求題為“NANOSECOND PULSER BIAS COMPENSATION”的2019年7月26日提交的美國非臨時專利申請No.16/523,840的優先權，并且是其部分繼續，其通過其完整引用合并于此。

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