[發(fā)明專利]剝離把持裝置、剝離檢查裝置以及超聲波振動接合系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980046298.0
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN112449681B
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 一瀨明大;山田義人
• 申請（專利權(quán)）人: 東芝三菱電機產(chǎn)業(yè)系統(tǒng)株式會社
• 主分類號: G01N19/04
• 分類號: G01N19/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 戚宏梅

本發(fā)明的目的在于提供不借助手動處理地將測定對象物從基板剝離并把持的剝離把持裝置。本發(fā)明在作為剝離把持用控制部發(fā)揮功能的剝離檢查控制裝置(55)的控制下執(zhí)行以下的第1以及第2步驟。在第1步驟中，維持接觸輥(32)的加工外周面(C32)與導(dǎo)線(12)的表面接觸的加工面接觸狀態(tài)，執(zhí)行一邊使接觸輥(32)旋轉(zhuǎn)一邊使接觸輥(32)在導(dǎo)線(12)的表面上移動的接觸輥旋轉(zhuǎn)動作。在第1步驟的執(zhí)行中，導(dǎo)線(12)的前端部分被從玻璃基板(11)剝離。然后，在第2步驟中，通過把持機構(gòu)，執(zhí)行對從玻璃基板(11)剝離的導(dǎo)線(12)的前端部分進行把持的把持動作。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及剝離把持裝置，其被用于剝離檢查裝置中，將接合在基板的表面上的測定對象物從基板剝離并進行把持。

背景技術(shù)

作為太陽電池等的制造中使用的裝置，存在通過超聲波振動動作來將電極線等接合對象物接合到形成有太陽電池等的基板上的超聲波振動接合裝置。

此外，為了定量地評價接合到基板上的接合對象物與基板之間的緊貼力即剝離強度而使用現(xiàn)有的測力計。以下，說明使用測力計進行的剝離強度測定方法的處理步驟。

首先，手動地將接合對象物的前端部分撕離，使規(guī)定的把持構(gòu)件對撕離的接合對象物的一端進行把持。

然后，與把持構(gòu)件連結(jié)地安裝測力計，從而能夠測定出測力計受到的張力。

然后，使用規(guī)定的上升機構(gòu)，在對接合對象物的一端進行把持的狀態(tài)下使把持構(gòu)件以及測力計上升，在上升時測定測力計受到的張力，由此能夠測定接合對象物的剝離強度。

作為這樣的測定接合對象物的剝離強度的裝置，例如有專利文獻1所公開的剝離試驗裝置。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：特開2006－194599號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

如上述那樣，在將通過超聲波振動動作等而被接合的接合對象物作為測定對象物的以往的剝離強度的測定方法中，需要進行利用人手的手動處理從基板將測定對象物的一部分剝離并將其安裝于把持構(gòu)件這樣的準備處理。

上述準備處理是以人手的手動處理為主的處理，因此，存在比較花費工時的問題點。而且，與上述準備處理中包含手動處理相應(yīng)地，還存在剝離強度的測定精度不穩(wěn)定的問題點。

本發(fā)明的目的在于解決上述那樣的問題點，提供一種不借助手動處理地將測定對象物從基板剝離并把持的剝離把持裝置。

用于解決課題的手段