[發明專利]剝離把持裝置、剝離檢查裝置以及超聲波振動接合系統

有效

• 申請號: 201980046298.0
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN112449681B
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發明（設計）人: 一瀨明大;山田義人
• 申請（專利權）人: 東芝三菱電機產業系統株式會社
• 主分類號: G01N19/04
• 分類號: G01N19/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 戚宏梅

1.一種剝離把持裝置，執行將在基板(11)上沿著規定方向接合的測定對象物(12)剝離并把持的剝離把持處理，具備：

夾頭機構(30)；

移動機構(53，54)，執行使所述夾頭機構沿水平方向移動的水平移動動作、以及使所述夾頭機構沿垂直方向移動的垂直移動動作；以及

剝離把持用控制部(55)，控制所述夾頭機構以及所述移動機構，控制所述剝離把持處理的執行，

所述夾頭機構包括：

接觸輥(32)，在外周面的一部分具有被進行了凹凸加工的加工外周面；

把持機構(33，34，35)，與所述接觸輥的旋轉動作連動地進行把持動作；以及

施壓機構(37)，執行相對于所述接觸輥的下降動作、以及在所述測定對象物與所述接觸輥接觸的狀態下對所述接觸輥朝下方施壓的施壓動作，

在所述剝離把持用控制部的控制下執行的所述剝離把持處理具備：

(a)使所述移動機構執行所述水平移動動作以及所述垂直移動動作，在所述測定對象物的前端部分的上方配置所述接觸輥的步驟；

(b)使所述施壓機構執行所述下降動作，使所述接觸輥的外周面與所述測定對象物的表面抵接，使所述施壓機構執行所述施壓動作，設定所述接觸輥的所述加工外周面與所述測定對象物的表面接觸的加工面接觸狀態的步驟；以及

(c)維持所述加工面接觸狀態，使所述移動機構執行所述水平移動動作，執行一邊使所述接觸輥旋轉一邊使所述接觸輥在所述測定對象物的表面上沿著所述規定方向移動的接觸輥旋轉動作的步驟，

在所述步驟(c)的執行中，所述測定對象物的前端部分被從所述基板剝離，

所述剝離把持處理還具備：

(d)通過所述把持機構執行對從所述基板剝離的所述測定對象物的前端部分進行把持的所述把持動作的步驟。

2.根據權利要求1記載的剝離把持裝置，其中，

所述把持機構包括：

接觸輥連動凸輪(33)，設置成能夠與所述接觸輥同時旋轉，具備相對于旋轉中心具有第1半徑的第1外周面(S33)和相對于旋轉中心具有比所述第1半徑長的第2半徑的第2外周面(L33)；以及

固定構件(34)，具備突出端(34t)和把持面(34g)，該突出端(34t)向朝向所述接觸輥連動凸輪的所述第1以及第2外周面的方向突出，該把持面(34g)與所述接觸輥的外周面對置地設置且形狀與所述接觸輥的外周面的一部分一致，所述固定構件被賦予使所述把持面朝向所述接觸輥的外周面的把持力，

在所述步驟(c)的執行時，通過所述接觸輥連動凸輪的所述第2外周面與所述突出端抵接，從而確保了供所述測定對象物的剝離的前端部分存在于所述接觸輥的表面與所述把持面之間的間隙，

在所述步驟(d)的執行時，通過所述接觸輥連動凸輪的所述第1外周面與所述突出端抵接，從而在所述固定構件被賦予所述把持力的狀態下由所述接觸輥的外周面和所述把持面夾住所述測定對象物的剝離的前端部分，由此執行所述把持動作。

3.一種剝離檢查裝置，具備：

權利要求1或2記載的剝離把持裝置；

剝離強度測定器(51)，與所述夾頭機構連結；以及

剝離強度測定用控制部(55)，控制所述剝離強度測定器，控制對所述測定對象物的剝離強度進行測定的剝離強度測定處理的執行，

在所述剝離強度測定用控制部的控制下執行的所述剝離強度測定處理包括：

(x)使所述剝離把持裝置執行所述剝離把持處理的步驟；以及

(y)在所述步驟(x)的執行后，從所述移動機構的至少所述水平移動動作中使所述夾頭機構解放，使用所述剝離強度測定器對所述測定對象物的剝離強度進行測定的步驟。

4.一種超聲波振動接合系統，具備：

權利要求3記載的剝離檢查裝置；以及

超聲波振動接合裝置，對配置在所述基板上的接合對象物執行超聲波振動動作，在所述基板上接合所述接合對象物。