[發(fā)明專利]感光性樹(shù)脂組合物、蝕刻方法以及樹(shù)脂構(gòu)造體的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980044443.1
• 申請(qǐng)日: 2019-07-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112384857A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 入澤宗利;伊藤旭;田邊昌大;豐田裕二;梶谷邦人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱制紙株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/027
• 分類號(hào): G03F7/027;C08F2/48;C08F220/30;G03F7/033;G03F7/20;G03F7/40
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 吳克鵬

1.一種感光性樹(shù)脂組合物，其是用于通過(guò)含有15質(zhì)量％～45質(zhì)量％的堿金屬氫氧化物及5質(zhì)量％～40質(zhì)量％的乙醇胺化合物的蝕刻液對(duì)基材進(jìn)行蝕刻處理的蝕刻方法中的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，

至少含有(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光聚合引發(fā)劑及(C)聚合性單體，

作為(C)聚合性單體，含有相對(duì)于(C)聚合性單體總量為5質(zhì)量％～80質(zhì)量％的通式(i)表示的m+n為2以上且7以下的化合物，

2.一種感光性樹(shù)脂組合物，其是用于通過(guò)含有15質(zhì)量％～45質(zhì)量％的堿金屬氫氧化物及5質(zhì)量％～40質(zhì)量％的乙醇胺化合物的蝕刻液對(duì)基材進(jìn)行蝕刻處理的蝕刻方法中的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，

至少含有(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光聚合引發(fā)劑及(C)聚合性單體，

(A)堿可溶性樹(shù)脂是使(I)甲基丙烯酸、(II)苯乙烯衍生物及(III)其他具有乙烯性不飽和基團(tuán)的單體共聚而得到的共聚物，相對(duì)于(I)甲基丙烯酸、(II)苯乙烯衍生物及(III)其他具有乙烯性不飽和基團(tuán)的單體的總量，(I)甲基丙烯酸為20質(zhì)量％～40質(zhì)量％，(II)苯乙烯衍生物為25質(zhì)量％～50質(zhì)量％，

作為(C)聚合性單體，含有通式(i)表示的m+n為2以上且20以下的化合物，

作為(C)聚合性單體的通式(i)表示的m+n為2以上且7以下的化合物的含量，相對(duì)于(C)聚合性單體總量，為80質(zhì)量％以下，

3.一種蝕刻方法，其特征在于，至少包含下述工序：

在基材的至少單面上形成含有權(quán)利要求1或2中所述的感光性樹(shù)脂組合物的感光性樹(shù)脂層的工序1，

使該感光性樹(shù)脂層曝光、顯影而形成抗蝕劑圖案的工序2，以及

通過(guò)含有15質(zhì)量％～45質(zhì)量％的堿金屬氫氧化物及5質(zhì)量％～40質(zhì)量％的乙醇胺化合物的蝕刻液對(duì)基材進(jìn)行蝕刻處理的工序3。

4.一種具有孔或圖案的樹(shù)脂構(gòu)造體的制造方法，其特征在于，使用權(quán)利要求3中所述的蝕刻方法。