[發明專利]激光能量測定裝置及激光能量測定方法

在審

• 申請號: 201980040983.2
• 申請日: 2019-06-12
• 公開（公告）號: CN112313487A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 水村通伸
• 申請（專利權）人: 株式會社V技術
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02;G01J4/04;H01L21/20;H01L21/268;H01S3/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華;洪秀川

提供一種能夠準確地評價向基板照射的激光的激光能量測定裝置。本發明的激光能量測定裝置具備：第一分束器，其在照明光學系統的內部或外部，將激光通過P偏振反射及S偏振反射中的一方進行反射；第二分束器，其針對由第一分束器反射了的第一反射光實施P偏振反射及S偏振反射中的另一方；第一測定部，其測定由第二分束器反射了的第二反射光的能量；以及第二測定部，其測定透過了第二分束器的透射光的能量。

技術領域

本發明涉及激光能量測定裝置及激光能量測定方法。

背景技術

以往，已知有將從光源照射的激光通過照明光學系統擴大并向基板照射而在基板上形成薄膜的激光照射裝置。

作為這樣的激光照射裝置，在下述專利文獻1中已知有使激光偏振地照射的結構。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2005-101202號公報

發明內容

發明的概要

發明要解決的課題

在這樣的激光照射裝置中，在照明光學系統的內部使進行了例如P偏振反射的反射光再進行S偏振反射，對輸出進行評價。然而，在該情況下，雖然通過消除偏振分量而能夠根據反射光的輸出的變化來評價來自光源的輸出的變化，但是存在無法評價照明光學系統的內部的偏振特性的問題。

因此，本發明目的在于提供一種通過同時評價來自光源的輸出和照明光學系統的內部的偏振特性而能夠準確地評價向基板照射的激光的激光能量測定裝置。

用于解決課題的方案

為了解決上述課題，本發明的激光能量測定裝置具備：第一分束器，其在照明光學系統的內部或外部，將激光通過P偏振反射及S偏振反射中的一方進行反射；第二分束器，其針對由所述第一分束器反射了的第一反射光實施P偏振反射及S偏振反射中的另一方；第一測定部，其測定由所述第二分束器反射了的第二反射光的能量；以及第二測定部，其測定透過了所述第二分束器的透射光的能量。

另外，第二分束器可以對第一反射光進行P偏振反射及S偏振反射中的P偏振反射。

為了解決上述課題，本發明的激光能量測定方法包括：在照明光學系統的內部或外部，將激光通過P偏振反射及S偏振反射中的一方進行反射的第一偏振工序；針對在所述第一偏振工序中反射了的第一反射光實施P偏振反射及S偏振反射中的另一方的第二偏振工序；測定在所述第二偏振工序中反射了的第二反射光的能量的第一測定工序；以及測定在所述第二偏振工序中透過了的透射光的能量的第二測定工序。

發明效果

根據本發明，激光能量測定裝置具備第一測定部和第二測定部。因此，在第一測定部中，能夠評價偏振分量被消除的來自光源的輸出，并且在第二測定部中，能夠評價照明光學系統的內部的偏振特性。使用上述的結果，能夠準確地評價向基板照射的激光。

附圖說明

圖1是本發明的一實施方式的激光照射裝置及激光能量測定裝置的框圖。

圖2是說明激光的偏振的狀態的圖。

具體實施方式

以下，關于本發明的實施方式，參照附圖進行說明。

圖1是本發明的一實施方式的激光照射裝置1及激光能量測定裝置40的框圖。需要說明的是，在圖1中，關于照明光學系統12的內部的結構，設想各種結構，因此省略圖示。

如圖1所示，激光照射裝置1具備產生激光L的光源10、照明光學系統12、投影透鏡20和投影掩模30。