[發(fā)明專利]激光能量測定裝置及激光能量測定方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980040983.2 | 申請日： | 2019-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN112313487A | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 水村通伸 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社V技術(shù) |
| 主分類號： | G01J1/02 | 分類號： | G01J1/02;G01J4/04;H01L21/20;H01L21/268;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華;洪秀川 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光 能量 測定 裝置 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種激光能量測定裝置，其具備：
第一分束器，其在照明光學(xué)系統(tǒng)的內(nèi)部或外部，將激光通過P偏振反射及S偏振反射中的一方進(jìn)行反射；
第二分束器，其針對由所述第一分束器反射了的第一反射光實(shí)施P偏振反射及S偏振反射中的另一方；
第一測定部，其測定由所述第二分束器反射了的第二反射光的能量；以及
第二測定部，其測定透過了所述第二分束器的透射光的能量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光能量測定裝置，其特征在于，
所述第一分束器針對所述第一反射光進(jìn)行P偏振反射及S偏振反射中的P偏振反射。
3.一種激光能量測定方法，其包括：
在照明光學(xué)系統(tǒng)的內(nèi)部或外部，將激光通過P偏振反射及S偏振反射中的一方進(jìn)行反射的第一偏振工序；
針對在所述第一偏振工序中反射了的第一反射光實(shí)施P偏振反射及S偏振反射中的另一方的第二偏振工序；
測定在所述第二偏振工序中反射了的第二反射光的能量的第一測定工序；以及
測定在所述第二偏振工序中透過了的透射光的能量的第二測定工序。
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