[發(fā)明專利]用于空間光調(diào)制器的減少數(shù)據(jù)流的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980039171.6
• 申請日: 2019-05-22
• 公開（公告）號: CN112262346B
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 約瑟夫·R·約翰遜;托馬斯·L·萊蒂格;克里斯多弗·丹尼斯·本徹
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

本公開內(nèi)容的實(shí)施方式提供了使用固態(tài)發(fā)射器陣列的改進(jìn)的光刻系統(tǒng)和方法。固態(tài)發(fā)射器陣列包括以行和列布置的固態(tài)發(fā)射器裝置，其中每個固態(tài)發(fā)射器裝置包括兩個或更多個子像素。每個固態(tài)發(fā)射器裝置包括一個程序柵極，其可將電壓傳送到狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)。狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)與驅(qū)動?xùn)艠O電連通。驅(qū)動?xùn)艠O與兩個或更多個固態(tài)發(fā)射器子像素連通。與單個驅(qū)動?xùn)艠O連通的多個子像素的布置允許多于一個脈沖被傳送到驅(qū)動?xùn)艠O，導(dǎo)致在每個驅(qū)動?xùn)艠O處照射有多于一個子像素。冗余的結(jié)果是改善的數(shù)據(jù)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開內(nèi)容的實(shí)施方式一般涉及用于處理一個或多個基板的設(shè)備、系統(tǒng)和方法，且更具體地涉及用于執(zhí)行光刻工藝的設(shè)備、系統(tǒng)和方法。

背景技術(shù)

光刻是廣泛地用于制造半導(dǎo)體裝置和顯示裝置，例如液晶顯示器(LCD)。大面積基板通常用于制造LCD。LCD、或平板，通常用于有源矩陣顯示器，例如計(jì)算機(jī)、觸摸面板裝置、個人數(shù)字助理(PDA)、移動電話、電視監(jiān)視器等。通常，平板包括一層液晶材料，其形成夾在兩個板之間的像素。當(dāng)來自電源的電力施加在液晶材料上時，通過液晶材料的光的量被控制在能夠產(chǎn)生圖像的像素位置處。

已經(jīng)采用微光刻技術(shù)來產(chǎn)生電特征，電特征被并入作為形成像素的液晶材料層的一部分。根據(jù)這些技術(shù)，將光敏光刻膠施加到基板的至少一個表面上。然后，圖案產(chǎn)生器將光敏光刻膠的選定區(qū)域作為圖案的一部分曝光，以使得選擇區(qū)域中的光刻膠發(fā)生化學(xué)變化，從而為隨后的材料去除和/或材料添加工藝準(zhǔn)備這些選擇區(qū)域，以產(chǎn)生電特征。

為了繼續(xù)以消費(fèi)者所要求的價格提供顯示裝置和其他裝置，需要有新的設(shè)備和方法來精確且成本有效地在基板上，例如，大面積基板，形成圖案。

發(fā)明內(nèi)容

本公開內(nèi)容的實(shí)施方式一般提供了使用固態(tài)發(fā)射器裝置的改善的光刻系統(tǒng)和方法。在一個實(shí)施方式中，固態(tài)發(fā)射器裝置包括：程序柵極，經(jīng)配置以傳送電壓；狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)，電連接到程序柵極，其中狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)經(jīng)配置以存儲由程序柵極傳送的電壓；驅(qū)動?xùn)艠O，電連接到狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)；至少兩個電源線，電連接到驅(qū)動?xùn)艠O；和像素，包括至少兩個子像素，其中每個子像素電連接到驅(qū)動?xùn)艠O；其中在第一電脈沖從第一電源線傳送到驅(qū)動?xùn)艠O時，驅(qū)動?xùn)艠O被配置以將存儲于狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)中的電壓傳送到第一子像素；和在第二電脈沖從第二電源線傳送到驅(qū)動?xùn)艠O時，驅(qū)動?xùn)艠O被配置以將存儲于狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)中的電壓傳送到第二子像素；和其中向子像素的電脈沖的傳送造成子像素的照射。

在另一個實(shí)施方式中，公開了一種用于圖案化基板的固態(tài)發(fā)射器陣列。固態(tài)發(fā)射器陣列包括多個固態(tài)發(fā)射器裝置，其中每個固態(tài)發(fā)射器裝置包括：程序柵極，經(jīng)配置以傳送電壓；狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)，電連接到程序柵極，其中狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)經(jīng)配置以存儲由程序柵極傳送的電壓；驅(qū)動?xùn)艠O，電連接到狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)；至少兩個電源線，電連接到驅(qū)動?xùn)艠O；和像素，包括至少兩個子像素，其中每個子像素電連接到驅(qū)動?xùn)艠O；其中在第一電脈沖從第一電源線傳送到驅(qū)動?xùn)艠O時，驅(qū)動?xùn)艠O被配置以將存儲于狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)中的電壓傳送到第一子像素；和在第二電脈沖從第二電源線傳送到驅(qū)動?xùn)艠O時，驅(qū)動?xùn)艠O被配置以將存儲于狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)中的電壓傳送到第二子像素；和其中向子像素的電脈沖的傳送造成子像素的照射。

在另一個實(shí)施方式中，公開了一種使用固態(tài)發(fā)射器裝置來圖案化基板的方法。在此實(shí)施方式中，基板被配置為以一速度移動經(jīng)過固態(tài)發(fā)射器裝置。方法包括以下步驟：將電壓傳送到連接到狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)的程序柵極；將電壓從程序柵極傳送到狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)；將電壓存儲在狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)中；將第一電脈沖從第一電源線傳送到驅(qū)動?xùn)艠O，其中第一電脈沖的傳送使得存儲于狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)中的電壓通過驅(qū)動?xùn)艠O并照射第一子像素；和將第二電脈沖從第二電源線傳送到驅(qū)動?xùn)艠O，其中第二電脈沖的傳送使得存儲于狀態(tài)存儲節(jié)點(diǎn)中的電壓通過驅(qū)動?xùn)艠O并照射第二子像素。

附圖說明

因此，可以詳細(xì)了解本公開內(nèi)容的上述特征的方法，本公開內(nèi)容的更具體的描述，簡要概述于上，可參照實(shí)施方式，其中一些實(shí)施方式描繪在隨附附圖中。然而，應(yīng)當(dāng)注意，隨附附圖僅示出本公開的典型實(shí)施方式，且因此不應(yīng)將其視為限制其范圍，因?yàn)楸竟_內(nèi)容可承認(rèn)其他等效的實(shí)施方式。