[發明專利]用于空間光調制器的減少數據流的方法

有效

• 申請號: 201980039171.6
• 申請日: 2019-05-22
• 公開（公告）號: CN112262346B
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發明（設計）人: 約瑟夫·R·約翰遜;托馬斯·L·萊蒂格;克里斯多弗·丹尼斯·本徹
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于圖案化基板的固態發射器裝置，包括：

程序柵極，經配置以傳送電壓；

狀態存儲節點，電連接到所述程序柵極，其中所述狀態存儲節點經配置以存儲由所述程序柵極傳送的電壓；

驅動柵極，電連接到所述狀態存儲節點，其中當所述狀態存儲節點存儲由所述程序柵極傳送到所述狀態存儲節點的電壓時，所述驅動柵極被啟動；

至少兩個電源線，電連接到所述驅動柵極；和

像素，包括至少兩個子像素，其中每個子像素電連接到所述驅動柵極；其中：

在第一電脈沖從第一電源線傳送到所述驅動柵極時，被啟動的所述驅動柵極被配置以將所述第一電脈沖傳送到第一子像素；和

在第二電脈沖從第二電源線傳送到所述驅動柵極時，被啟動的所述驅動柵極被配置以將所述第二電脈沖傳送到第二子像素；和

其中，向子像素的電脈沖的傳送造成所述子像素的照射。

2.如權利要求1所述的裝置，其中所述基板被配置以相對于所述子像素的速度而移動。

3.如權利要求2所述的裝置，其中所述第一子像素與所述第二子像素以第一距離分開。

4.如權利要求3所述的裝置，其中所述第一電脈沖的傳送和所述第二電脈沖的傳送被時間延遲分開。

5.如權利要求4所述的裝置，其中所述時間延遲等于所述第一距離除以所述基板的所述速度。

6.如權利要求1所述的裝置，其中：

所述程序柵極與固態程序裝置連通；并且

所述固態程序裝置經配置以判定是否將電壓傳送到所述程序柵極。

7.一種用于圖案化基板的固態發射器陣列，包括多個固態發射器裝置，其中每個固態發射器裝置包括：

程序柵極，經配置以傳送電壓；

狀態存儲節點，電連接到所述程序柵極，其中所述狀態存儲節點經配置以存儲由所述程序柵極傳送的電壓；

驅動柵極，電連接到所述狀態存儲節點，其中當所述狀態存儲節點存儲由所述程序柵極傳送到所述狀態存儲節點的電壓時，所述驅動柵極被啟動；

至少兩個電源線，電連接到所述驅動柵極；和

像素，包括至少兩個子像素，其中每個子像素電連接到所述驅動柵極；其中：

在第一電脈沖從第一電源線傳送到所述驅動柵極時，被啟動的所述驅動柵極被配置以將所述第一電脈沖傳送到第一子像素；和

在第二電脈沖從第二電源線傳送到所述驅動柵極時，被啟動的所述驅動柵極被配置以將所述第二電脈沖傳送到第二子像素；和

其中，向子像素的電脈沖的傳送造成所述子像素的照射。

8.如權利要求7所述的陣列，其中所述多個固態發射器裝置是以行和列配置的。

9.如權利要求8所述的陣列，其中所述基板被配置以相對于所述陣列的速度而移動。

10.如權利要求9所述的陣列，其中所述第一子像素中的每一個與所述第二子像素中的每一個以第一距離分開。

11.如權利要求10所述的陣列，其中所述第一電脈沖的傳送和所述第二電脈沖的傳送被時間延遲分開。

12.如權利要求11所述的陣列，其中所述時間延遲等于所述第一距離除以所述基板的所述速度。

13.如權利要求7所述的陣列，其中：

所述陣列與固態程序裝置連通；并且

所述固態程序裝置經配置以判定是否將電壓傳送到所述程序柵極。