[發明專利]蒸鍍器主體

有效

• 申請號: 201980037537.6
• 申請日: 2019-05-23
• 公開（公告）號: CN112218974B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: P·戈茨
• 申請（專利權）人: CVT股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/14;C23C14/24;C23C14/26
• 代理公司: 北京市鑄成律師事務所 11313
• 代理人: 王珺;林軍

1.一種用于在PVD金屬化設備中蒸鍍金屬的蒸鍍器主體（1），包括：

上側（3），所述上側具有：

第一縱向邊緣和第二縱向邊緣（5-1，5-2）以及

第一橫向邊緣和第二橫向邊緣（7-1，7-2），所述橫向邊緣橫向于所述縱向邊緣延伸；以及

第一縱向溝槽和第二縱向溝槽（11-1，11-2），所述縱向溝槽構成在所述上側（3）中，其中所述第一縱向溝槽（11-1）相鄰于且沿著所述第一縱向邊緣（5-1）延伸，并且所述第二縱向溝槽（11-2）相鄰于且沿著所述第二縱向邊緣（5-2）延伸，其中所述縱向溝槽（11-1，11-2）的端部具有距所述橫向邊緣（7-1，7-2）的間距，并且其中由所述蒸鍍器主體（1）的所述上側（3）形成的內置的蒸鍍面（13）由所述縱向溝槽（11-1，11-2）在縱向側直接限界；

所述蒸鍍器主體（1）還包括第一側面和第二側面（31-1，31-2），其中所述第一側面（31-1）鄰接于所述第一縱向邊緣（5-1）并且沿著所述第一縱向邊緣延伸，并且所述第二側面（31-2）鄰接于所述第二縱向邊緣（5-2）并且沿著所述第二縱向邊緣延伸，并且其中在所述側面（31-1，31-2）中構成凹槽（33-1，33-2），所述凹槽相鄰于且沿著相對應的所述縱向邊緣（5-1，5-2）延伸。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍器主體（1），還包括第一橫向溝槽和第二橫向溝槽（17-1，17-2），其中所述第一橫向溝槽（17-1）相鄰于且沿著所述第一橫向邊緣（7-1）延伸，并且所述第二橫向溝槽（17-2）相鄰于且沿著所述第二橫向邊緣（7-2）延伸，其中所述橫向溝槽（17-1，17-2）的端部與所述縱向溝槽（11-1，11-2）的端部連接，以便在所述上側中構成環繞的溝槽（19），由所述環繞的溝槽對由所述蒸鍍器主體（1）的所述上側（3）形成的所述內置的蒸鍍面（13）環周直接限界。

3.根據權利要求1或2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述蒸鍍面（13）具有如下面積，該面積處于所述上側（3）的面積的25%至85%的范圍內。

4.根據權利要求1或2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述蒸鍍面（13）具有如下面積，該面積處于所述上側（3）的面積的40%至65%的范圍內。

5.根據權利要求1或2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述蒸鍍面（13）具有如下面積，該面積處于所述上側（3）的面積的50%至60%的范圍內。

6.根據權利要求2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述蒸鍍面（13）的面積與所述溝槽（11-1，11-2，17-1，17-2）在所述上側（3）中占據的面積之比處于10：1至3：1的范圍內。

7.根據權利要求2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述蒸鍍面（13）的面積與所述溝槽（11-1，11-2，17-1，17-2）在所述上側（3）中占據的面積之比處于8：1至5：1的范圍內。

8.根據權利要求1或2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述縱向溝槽（11-1，11-2）具有如下長度，該長度處于相對應的所述縱向邊緣（5-1，5-2）的長度的50%至85%的范圍內。

9.根據權利要求1或2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述縱向溝槽（11-1，11-2）具有如下長度，該長度處于相對應的所述縱向邊緣（5-1，5-2）的長度的60%至80%的范圍內。

10.根據權利要求1或2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述縱向溝槽（11-1，11-2）的端部具有距所述縱向邊緣（5-1，5-2）的間距，該間距處于相對應的所述縱向邊緣（5-1，5-2）的長度的8%至30%的范圍內。

11.根據權利要求1或2所述的蒸鍍器主體（1），其中所述縱向溝槽（11-1，11-2）的端部具有距所述縱向邊緣（5-1，5-2）的間距，該間距處于相對應的所述縱向邊緣（5-1，5-2）的長度的10%至25%的范圍內。