[發明專利]管狀線性致動器、圖案形成裝置掩蔽裝置和光刻設備

在審

• 申請號: 201980028000.3
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN112041748A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: P·M·S·M·海杰曼斯;O·M·J·費希爾;M·H·基曼;E·范霍恩;A·H·弗維杰
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H02K41/03
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 董莘

1.一種管狀線性致動器，包括：

管狀線圈組件，包括多個管狀線圈，所述多個管狀線圈在所述管狀線性致動器的縱向方向上彼此相鄰并且相對于所述管狀線性致動器的縱向軸線同心地布置，以及

磁體組件，包括在所述縱向方向上延伸并且具有交替極化方向的一系列永磁體，

其中所述磁體組件至少部分被布置在所述線圈組件中并且能夠相對于所述線圈組件移動，

其中所述管狀線圈包括邊緣繞組。

2.根據權利要求1所述的管狀線性致動器，其中每個線圈包括第一相柱和第二相柱，所述第一相柱具有沿第一繞組方向的第一繞組，所述第二相柱包括沿第二繞組方向的第二繞組，其中所述第一繞組和所述第二繞組串聯連接，使得所述第一繞組中的第一電流方向與所述第二繞組中的第二電流方向相反。

3.根據權利要求2所述的管狀線性致動器，其中

其中所述第一繞組方向與所述第二繞組方向相反，并且其中所述第一繞組的引出線連接到所述第二繞組的引入線，或者

其中所述第一繞組方向和所述第二繞組方向相同，并且其中所述第一繞組的引出線連接到所述第二繞組的引出線。

4.根據權利要求2或3所述的管狀線性致動器，其中所述第一繞組和/或所述第二繞組包括兩個或更多個同心層。

5.根據前述權利要求中任一項所述的管狀線性致動器，其中所述線圈組件包括在一個或每個軸向端部處的附加相柱，所述附加相柱包括沿所述第一繞組方向或所述第二繞組方向的繞組。

6.根據前述權利要求中任一項所述的管狀線性致動器，其中所述線圈組件是三相線圈組件。

7.根據權利要求5和6所述的管狀線性致動器，其中所述線圈組件包括一個或多個線圈陣列，其中每個線圈陣列包括連接到第一相的第一線圈、連接到第二相的第二線圈和連接到第三相的第三線圈，所述第一線圈、所述第二線圈和所述第三線圈彼此相鄰布置，其中在所述線圈組件的所述第一軸向端部處，與第一線圈陣列的相應第一線圈相鄰，設置有串聯連接到所述第一線圈陣列的所述第三線圈的附加相柱，并且其中在所述線圈組件的所述第二軸向端部處，與第二線圈陣列的相應第三線圈相鄰，設置有串聯連接到所述第二線圈陣列的所述第一線圈的附加相柱。

8.根據前述權利要求中任一項所述的管狀線性致動器，其中所述永磁體的極化方向在所述管狀線性致動器的縱向方向和徑向方向上交替地延伸。

9.根據前述權利要求中任一項所述的管狀線性致動器，其中所述管狀線性致動器被配置用于在光刻設備中使用，特別是用作用于圖案形成裝置掩蔽裝置的掩蔽葉片的致動器。

10.根據前述權利要求中任一項所述的管狀線性致動器，其中所述邊緣繞組由具有矩形橫截面的銅線制成。

11.一種管狀線性致動器，包括：

管狀線圈組件，包括多個管狀線圈，所述多個管狀線圈在所述管狀線性致動器的縱向方向上彼此相鄰并且相對于所述管狀線性致動器的縱向軸線同心地布置，以及

管狀磁體組件，包括在所述縱向方向上延伸并且具有交替極化方向的一系列永磁體，

其中所述磁體組件至少部分被布置在所述線圈組件中并且在平行于所述縱向軸線的致動方向上能夠相對于所述線圈組件移動，

其中所述管狀線性致動器是單相管狀致動器。

12.根據權利要求11所述的管狀線性致動器，包括：

其中所述管狀線圈組件包括第一管狀線圈和第二管狀線圈，其中所述管狀線性致動器被布置為在第一電流方向上在所述第一管狀線圈中提供電流，并且在第二電流方向上在所述第二管狀線圈中提供電流，其中所述第一電流方向和所述第二電流方向彼此相反。