[發明專利]用于制造無接縫的大面積壓印的方法和設備

在審

• 申請號: 201980025345.3
• 申請日: 2019-02-19
• 公開（公告）號: CN112074784A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 凱文·勞頓·坎寧安;曼尼瓦南·托塔德里
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

本公開內容的實施方式一般涉及壓印光刻，且更具體地涉及用于制造無接縫的大面積壓印的方法和設備。本文公開的方法一般包括將印模或產品中的特征的固化時間與接縫和周邊的固化時間分開。接縫和周邊可以首先固化，或者接縫和周邊可以最后固化。另外，接縫固化操作可以在主板、印模上或最終產品上進行。

技術領域

本公開內容的實施方式一般涉及壓印光刻，且更具體地涉及用于制造無接縫的大面積壓印的方法和設備。

背景技術

壓印光刻是一種接觸圖案化方法，可用于制造納米級的圖案。一般而言，壓印光刻起始于制造圖案的模板。將例如光刻膠的液體沉積在基板上以進行圖案化。然后，將圖案化模板施壓在液體上，以壓印圖案在基板上。然后將圖案化的基板固化，以硬化基板上光刻膠的圖案。

然而，傳統的壓印光刻方法和設備具有各種挑戰。例如，傳統的壓印光刻方法不適用于大面積基板(大于300mm)，例如顯示裝置，因為傳統使用的主板(master)不夠大故無法對大面積顯示器進行圖案化。因此，一些傳統的壓印方法使用多個主板，這些主板彼此粘附在一起。然而，接縫會形成于主板之間和周邊處，然后被轉移到基板上的圖案。接縫和周邊處的圖案化不規則性可導致裝置效率降低甚至裝置故障。例如，在導光板(light guidepanel,LGP)的情況下，當接縫壓印到LGP中時，會成為一種表面特征將光引導至LGP外或將光外耦合至LGP外。在液晶顯示器(liquid crystal display,LCD)的情況下，當接縫壓印在LCD中時，觀察者將在顯示器中看到接縫。

因此，一種需求為可用于壓印大面積基板的改良壓印光刻方法和設備。

發明內容

本公開內容的實施方式一般涉及壓印光刻，且更具體地涉及用于制造無接縫的大面積壓印的方法和設備。本文公開的方法一般包括將印模(stamp)或產品中的特征的固化時間與接縫和周邊的固化時間分開。接縫和周邊可以首先固化，或者接縫和周邊可以最后固化。另外，接縫固化操作可以在主板上、在印模上、或在最終產品上進行。

在一個實施方式中，公開了一種壓印光刻方法。此方法包括：由粘附至背板的多個主板壓印印模材料以形成印模，每個主板上具有多個特征，且多個主板的每對主板之間具有接縫；將掩模定位在紫外線光源和印模材料之間，并將印模材料暴露于來自紫外線光源的紫外線光，以形成印模材料的固化部分和未固化部分。

在另一個實施方式中，公開了一種壓印光刻方法。此方法包括：由粘附至背板的多個主板壓印印模材料以形成印模，每個主板上具有多個特征，且多個主板的每對主板之間具有接縫；以印模在基板上壓印光刻膠材料；將掩模定位在紫外線光源和光刻膠材料之間，并將光刻膠材料暴露于來自紫外線光源的紫外線光，以形成光刻膠材料的固化部分和未固化部分。

在又一個實施方式中，公開了一種壓印光刻方法。此方法包括：將多個主板粘附至背板，每個主板上具有多個特征，且多個主板的每對主板之間具有接縫；以填充材料填充多個主板的每對主板之間的接縫；通過由多個主板壓印印模材料而形成印模；以印模在基板上壓印光刻膠材料，從受壓印的光刻膠材料上除去印模，形成具有多個特征的正圖像和受填充的接縫于上面的最終產品。

在又一個實施方式中，公開了一種壓印光刻設備。此設備包括一個UV穿透背板和耦接到UV穿透背板的至少兩個主板，此至少兩個主板的每一者上具有多個特征，且此至少兩個主板之間具有接縫。

附圖說明

因此，可以詳細地理解本公開內容的上述特征的方式，可以通過參考實施方式獲得對以上簡要概述的本公開內容的更具體的描述，其中一些實施方式是在附圖中示出。然而，請理解附圖僅示出本公開內容的典型實施方式，因此不應認為是對其范圍的限制，因為本公開內容可允許其他同等有效的實施方式。

圖1A-圖1F繪示根據本文公開的實施方式的基板圖案化方法的各個階段的示意圖。