[發明專利]用于制造無接縫的大面積壓印的方法和設備

在審

• 申請號: 201980025345.3
• 申請日: 2019-02-19
• 公開（公告）號: CN112074784A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 凱文·勞頓·坎寧安;曼尼瓦南·托塔德里
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種壓印光刻方法，包括：

由粘附至背板上的多個主板壓印印模材料，以形成印模，每個主板上具有多個特征，且所述多個主板的每對主板之間具有接縫；

將掩模定位在紫外線光源與所述印模材料之間；和

將所述印模材料暴露于來自所述紫外線光源的紫外線光，以形成所述印模材料的固化部分和未固化部分。

2.如權利要求1所述的方法，其中所述印模材料的所述固化部分對應于所述多個主板中的每對主板之間的所述接縫。

3.如權利要求1所述的方法，其中所述印模材料的所述未固化部分對應于所述多個主板中的每對主板之間的所述接縫。

4.如權利要求1所述的方法，其中將所述印模材料暴露于來自所述紫外線光源的紫外線光以形成所述印模材料的所述固化部分和所述未固化部分的步驟，發生在由粘附至所述背板的所述多個主板壓印所述印模材料以形成所述印模的步驟前。

5.如權利要求1所述的方法，其中將所述印模材料暴露于來自所述紫外線光源的紫外線光以形成所述印模材料的所述固化部分和所述未固化部分的步驟，發生在由粘附至所述背板的所述多個主板壓印所述印模材料以形成所述印模的步驟后。

6.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

將具有所述固化和所述未固化部分的所述印模材料暴露于來自所述紫外線光源的額外紫外線光，以固化所述印模材料的所述未固化部分。

7.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

洗掉所述印模材料的所述未固化部分。

8.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

以所述印模在一個單獨的基板上壓印光刻膠材料；和

從受壓印的所述光刻膠材料上移除所述印模，以形成圖案化最終產品。

9.一種壓印光刻方法，包括：

由粘附至背板的多個主板壓印印模材料，以形成印模，每個主板上具有多個特征，且所述多個主板中的每對主板之間具有接縫；

以所述印模在基板上壓印光刻膠材料；

將掩模定位在紫外線光源與所述光刻膠材料之間；和

將所述光刻膠材料暴露于來自所述紫外線光源的紫外線光，以形成所述光刻膠材料的固化部分和未固化部分。

10.如權利要求9所述的方法，其中所述光刻膠材料的所述固化部分對應于所述接縫。

11.如權利要求9所述的方法，其中所述光刻膠材料的所述未固化部分對應于所述接縫。

12.一種壓印光刻方法，包括：

將多個主板粘附至背板，每個主板具有多個特征，且所述多個主板中的每對主板之間具有接縫；

以填充材料填充所述多個主板中的每對主板之間的所述接縫；

通過由所述多個主板壓印印模材料以形成印模；

以所述印模在基板上壓印光刻膠材料；和

從受壓印的所述光刻膠材料上除去所述印模，以形成最終產品，所述最終產品具有所述多個特征的正圖像和受填充的所述接縫于上面。

13.如權利要求12所述的方法，其中所述填充材料是聚合物。

14.如權利要求12所述的方法，其中所述接縫被填充過度以在所述印模中形成凹陷區域。

15.如權利要求12所述的方法，其中所述接縫被填充不足以在所述印模中形成凸起區域。