[發(fā)明專利]安裝裝置以及薄膜供應(yīng)裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201980025245.0 | 申請(qǐng)日: | 2019-01-21 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN112106178A | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-12-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 野口勇一郎;野村勝利 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 株式會(huì)社新川 |
| 主分類號(hào): | H01L21/60 | 分類號(hào): | H01L21/60;B65H23/198 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人: | 楊文娟;臧建明 |
| 地址: | 日本東京武藏村*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 安裝 裝置 以及 薄膜 供應(yīng) | ||
1.一種安裝裝置,使薄膜介于安裝頭的底面與電子零件之間而進(jìn)行所述電子零件的安裝,其特征在于包括:
薄膜卷取機(jī)構(gòu),使卷取卷軸旋轉(zhuǎn)而卷取自送出卷軸架設(shè)至所述卷取卷軸的薄膜,且每當(dāng)進(jìn)行所述安裝時(shí),以將新的薄膜配置于所述安裝頭的底面的方式進(jìn)行卷取;
張力檢測(cè)部,檢測(cè)經(jīng)所述薄膜卷取機(jī)構(gòu)卷取后的薄膜的張力;及
控制部,基于由所述張力檢測(cè)部所檢測(cè)出的所述張力,利用卷取馬達(dá)使所述卷取卷軸旋轉(zhuǎn)而調(diào)整所述張力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝裝置,其特征在于,
所述薄膜卷取機(jī)構(gòu)包括:
馬達(dá)臂,直接或間接地連接于所述卷取馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸,在一定方向上延伸;
卷軸臂,直接或間接地連接于所述卷取卷軸的旋轉(zhuǎn)軸,在與所述馬達(dá)臂對(duì)應(yīng)的方向上延伸,與所述馬達(dá)臂以同一中心旋轉(zhuǎn);及
彈性構(gòu)件,一端連結(jié)于所述馬達(dá)臂,另一端連結(jié)于所述卷軸臂,使所述卷軸臂追隨所述馬達(dá)臂,且
所述張力檢測(cè)部基于所述馬達(dá)臂與所述卷軸臂的旋轉(zhuǎn)方向上的間隔而檢測(cè)所述張力。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的安裝裝置,其特征在于,
所述張力檢測(cè)部在所述間隔小于第一規(guī)定值的情形時(shí)檢測(cè)出所述張力過(guò)小,
在所述間隔超過(guò)大于所述第一規(guī)定值的第二規(guī)定值的情形時(shí)檢測(cè)出所述張力過(guò)大。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的安裝裝置,其特征在于,
一對(duì)檢測(cè)臂直接或間接地連結(jié)于所述馬達(dá)臂或所述卷軸臂中的一者,并朝另一者延伸、且以跨越另一者或連結(jié)于另一者的被檢測(cè)體的至少一個(gè)的方式配置,
所述一對(duì)檢測(cè)臂包括第一傳感器及第二傳感器,所述第一傳感器及所述第二傳感器能夠探測(cè)檢測(cè)臂之間的所述另一者或所述被檢測(cè)體,
所述第一傳感器配置于所述一對(duì)檢測(cè)臂的所述一者側(cè),所述第二傳感器在所述一對(duì)檢測(cè)臂中與所述第一傳感器空開(kāi)規(guī)定間隔而配置于所述另一者側(cè),
所述張力檢測(cè)部在所述第一傳感器探測(cè)到所述另一者或所述被檢測(cè)體的情形時(shí)檢測(cè)出所述張力過(guò)小,
在所述第一傳感器未探測(cè)到所述另一者以及所述被檢測(cè)體,且所述第二傳感器未探測(cè)到所述另一者以及所述被檢測(cè)體的情形時(shí),檢測(cè)出所述張力過(guò)大。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的安裝裝置,其特征在于,
所述控制部在檢測(cè)到所述張力過(guò)小時(shí),經(jīng)由所述卷取馬達(dá)使所述卷取卷軸朝卷取方向旋轉(zhuǎn),
在檢測(cè)到所述張力過(guò)大時(shí),經(jīng)由所述卷取馬達(dá)使所述卷取卷軸朝與所述卷取方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的安裝裝置,其特征在于,
所述控制部在檢測(cè)出所述張力過(guò)小或過(guò)大時(shí),經(jīng)由所述卷取馬達(dá)使所述卷取卷軸旋轉(zhuǎn),直至所述第一傳感器未探測(cè)到所述另一者及所述被檢測(cè)體,且所述第二傳感器探測(cè)到所述另一者或所述被檢測(cè)體為止。
7.一種薄膜供應(yīng)裝置,其特征在于包括:
薄膜卷取機(jī)構(gòu),使卷取卷軸旋轉(zhuǎn)而卷取自送出卷軸架設(shè)至所述卷取卷軸的薄膜;
張力檢測(cè)部,檢測(cè)利用所述薄膜卷取機(jī)構(gòu)卷取規(guī)定量的薄膜之后的薄膜的張力;及
控制部,基于由所述張力檢測(cè)部所檢測(cè)出的所述張力,利用卷取馬達(dá)使所述卷取卷軸旋轉(zhuǎn)而調(diào)整所述張力,且
所述薄膜卷取機(jī)構(gòu)包括:
馬達(dá)臂,直接或間接地連接于所述卷取馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸,在一定方向上延伸;
卷軸臂,直接或間接地連接于所述卷取卷軸的旋轉(zhuǎn)軸,在與所述馬達(dá)臂對(duì)應(yīng)的方向上延伸,與所述馬達(dá)臂以同一中心旋轉(zhuǎn);及
彈性構(gòu)件,一端連結(jié)于所述馬達(dá)臂,另一端連結(jié)于所述卷軸臂,使所述卷軸臂追隨所述馬達(dá)臂,且
所述張力檢測(cè)部在所述馬達(dá)臂與所述卷軸臂的旋轉(zhuǎn)方向上的間隔小于第一規(guī)定值的情形時(shí),檢測(cè)出所述張力過(guò)小,
在所述間隔超過(guò)大于所述第一規(guī)定值的第二規(guī)定值的情形時(shí),檢測(cè)出所述張力過(guò)大,
所述控制部在檢測(cè)出所述張力過(guò)小時(shí),經(jīng)由所述卷取馬達(dá)使所述卷取卷軸朝卷取方向旋轉(zhuǎn),
在檢測(cè)出所述張力過(guò)大時(shí),經(jīng)由所述卷取馬達(dá)使所述卷取卷軸朝與所述卷取方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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- 凈水濾芯以及凈水裝置、以及洗漱臺(tái)
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