[發(fā)明專利]具有長(zhǎng)運(yùn)動(dòng)能力的精確動(dòng)態(tài)調(diào)平機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980023657.0
• 申請(qǐng)日: 2019-05-03
• 公開（公告）號(hào): CN111937133A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·M·舒浩勒;M·羅勒;T·A·恩古耶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 汪駿飛;侯穎媖

1.一種提升組件，包括：

底部托架；

基座組件支架，所述基座組件支架被配置為支撐基座組件，所述基座組件包括桿和基座；以及

三個(gè)或更多個(gè)伺服電動(dòng)機(jī)組件，所述伺服電動(dòng)機(jī)組件每一個(gè)經(jīng)由樞軸關(guān)節(jié)附接到所述底部托架并通過(guò)三個(gè)或更多個(gè)軸承組件附接到所述基座組件支架，每個(gè)軸承組件包括：

導(dǎo)向配接器，所述導(dǎo)向配接器連接到導(dǎo)向致動(dòng)器和所述提升組件的所述基座組件支架；以及

螺栓和彈簧，所述螺栓和所述彈簧插入穿過(guò)所述導(dǎo)向配接器中的凹槽，以將軸承連接到所述基座組件支架，所述軸承具有內(nèi)座圈和外座圈，所述內(nèi)座圈抵靠所述基座組件支架，并且所述外座圈抵靠所述導(dǎo)向配接器。

2.如權(quán)利要求1所述的組件，其中軸向預(yù)裝載所述螺栓和彈簧。

3.如權(quán)利要求2所述的組件，其中所述螺栓和彈簧軸向預(yù)裝載約3磅力(lbf)至約200磅力。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的組件，其中所述提升組件被配置為以3個(gè)自由度來(lái)重復(fù)移動(dòng)而位置分辨率小于0.001英寸。

5.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的組件，其中每個(gè)樞軸關(guān)節(jié)具有一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度。

6.如權(quán)利要求1、2、3、4或5所述的組件，其中所述軸承是球形推力軸承。

7.如權(quán)利要求1、2、3、4、5或6所述的組件，其中所述軸承是角接觸球形軸承。

8.如權(quán)利要求1、2、3、4、5、6或7所述的組件，其中抵靠所述基座組件支架的所述內(nèi)座圈和抵靠所述導(dǎo)向配接器的所述外座圈在所述內(nèi)座圈與外座圈之間提供標(biāo)稱間隙。

9.如權(quán)利要求1、2、3、4、5、6、7或8所述的組件，其中所述內(nèi)座圈和所述外座圈被配置為彼此滑動(dòng)而不徑向運(yùn)動(dòng)。

10.一種球形推力軸承組件，包括：

導(dǎo)向配接器，所述導(dǎo)向配接器連接到導(dǎo)向致動(dòng)器和提升組件的基座組件支架，所述提升組件包括：

底部托架；

基座組件支架，所述基座組件支架被配置為支撐基座組件，所述基座組件包括桿和基座；以及

三個(gè)或更多個(gè)伺服電動(dòng)機(jī)組件，每個(gè)伺服電動(dòng)機(jī)組件經(jīng)由樞軸關(guān)節(jié)附接到所述底部托架并通過(guò)軸承組件附接到所述基座組件支架；以及

螺栓和彈簧，所述螺栓和所述彈簧插入穿過(guò)所述導(dǎo)向配接器中的凹槽，以將軸承連接到所述基座組件支架，所述軸承具有內(nèi)座圈和外座圈，所述內(nèi)座圈抵靠所述基座組件支架，并且所述外座圈抵靠所述導(dǎo)向配接器。

11.如權(quán)利要求10所述的組件，其中所述螺栓和彈簧軸向預(yù)裝載。

12.如權(quán)利要求10或11所述的組件，其中所述提升組件被配置為以3個(gè)自由度來(lái)重復(fù)移動(dòng)而位置分辨率小于0.001英寸。

13.如權(quán)利要求10、11或12所述的組件，其中每個(gè)樞軸關(guān)節(jié)具有一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度。

14.如權(quán)利要求10、11、12或13所述的組件，其中抵靠所述基座組件支架的所述內(nèi)座圈和抵靠所述導(dǎo)向配接器的所述外座圈在所述內(nèi)座圈與外座圈之間提供標(biāo)稱間隙。

15.一種腔室，包括：

腔室蓋；

多個(gè)腔室壁；

腔室底部；

處理區(qū)域，所述處理區(qū)域由所述腔室蓋、所述多個(gè)腔室壁和所述腔室底部來(lái)限定；以及

提升組件，所述提升組件包括：

底部托架；

基座組件支架，所述基座組件支架被配置為支撐基座組件，所述基座組件包括桿和基座，所述桿定位穿過(guò)所述腔室底部和所述底部托架的開口，并且所述基座設(shè)置在所述處理區(qū)域中；以及

三個(gè)或更多個(gè)伺服電動(dòng)機(jī)組件，所述伺服電動(dòng)機(jī)組件每一個(gè)經(jīng)由樞軸關(guān)節(jié)附接到所述底部托架并通過(guò)三個(gè)或更多個(gè)軸承組件附接到所述基座組件支架，每個(gè)軸承組件包括：

導(dǎo)向配接器，所述導(dǎo)向配接器連接到導(dǎo)向致動(dòng)器和所述提升組件的所述基座組件支架；以及

螺栓和彈簧，所述螺栓和所述彈簧插入穿過(guò)所述導(dǎo)向配接器中的凹槽，以將軸承連接到所述基座組件支架，所述軸承具有內(nèi)座圈和外座圈，所述內(nèi)座圈抵靠所述基座組件支架，并且所述外座圈抵靠所述導(dǎo)向配接器。