[發明專利]表面發射激光器陣列，檢測設備和激光器設備

在審

• 申請號: 201980019686.X
• 申請日: 2019-03-14
• 公開（公告）號: CN111869022A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 沼田雅之;池應敏行;泉谷一磨;植野剛;軸谷直人
• 申請（專利權）人: 株式會社理光
• 主分類號: H01S5/183
• 分類號: H01S5/183;H01S5/42
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王增強

表面發射激光器陣列包括多個表面發射激光器元件、多個光學元件和光屏蔽構件。多個表面發射激光器元件被布置在基板的第一表面上并被配置為沿與第一表面交叉的方向發射光。多個光學元件布置在與基板的第一表面相反的第二表面上，以對應于表面發射激光器元件并被配置為改變光的輻射角。光屏蔽構件布置在基板的第二表面上的光學元件之間的區域中。

技術領域

本發明涉及表面發射激光器陣列、檢測設備和激光器設備。

背景技術

其中二維地布置多個表面發射激光器元件(豎直腔表面發射激光器(VCSEL))的表面發射激光器陣列被用作激光光源。

通常地，已經提出了其中在半導體基板上形成包括活性層的層疊體，在基板的背側形成光發射窗的VCSEL陣列(例如，參照專利文獻1)。

發明內容

技術問題

然而，在傳統的VCSEL中，難以控制從VCSEL元件發射的激光束的輻射角。

鑒于上述情況構思了本發明，并且目的是要控制從表面發射激光器發射的激光束的輻射角。

解決問題的技術方案

根據本發明的一個方面，表面發射激光器陣列包括多個表面發射激光器元件、多個光學元件和光屏蔽構件。多個表面發射激光器元件被布置在基板的第一表面上，并且被配置為沿與第一表面交叉的方向發射光。多個光學元件布置在與基板的第一表面相反的第二表面上，以對應于表面發射激光器元件，并且被配置為改變光的輻射角。光屏蔽構件布置在基板的第二表面上的光學元件之間的區域中。

發明的有益效果

根據本發明的實施例，可以控制從表面發射激光器發射的激光束的輻射角。

附圖說明

圖1是示出根據第一實施例的表面發射激光器陣列的配置的示例的局部橫截面圖；

圖2是示出根據第一實施例的表面發射激光器陣列的配置的示例的局部底視圖；

圖3A是示意性地示出了根據第一實施例的生成光屏蔽構件42的方法的流程的示例的截面圖；

圖3B是示意性地示出根據第一實施例的生成光屏蔽構件42的方法的流程的示例的截面圖；

圖3C是示意性示出根據第一實施例的生成光屏蔽構件42的方法的流程的示例的截面圖；

圖4是示出根據第一實施例的表面發射激光器陣列的配置的另一示例的局部截面圖；

圖5是示出根據比較示例的表面發射激光器陣列的構造的示例的局部截面圖；

圖6是示出根據第二實施例的表面發射激光器陣列的配置的示例的局部底視圖；

圖7是示出根據第三實施例的表面發射激光器陣列的配置的示例的局部橫截面圖；

圖8是示出根據第三實施例的表面發射激光器陣列的配置的示例的局部底視圖；

圖9是示出當未設置光屏蔽構件時通過微透鏡的光的強度分布的圖；

圖10是示出當僅在剩余部分上設置光屏蔽構件時通過微透鏡的光的強度分布的圖；

圖11是示出當光屏蔽構件設置在透鏡的剩余部分和外圍部分上時通過微透鏡的光的強度分布的圖；

圖12是示出根據第四實施例的表面發射激光器陣列的微透鏡部分的配置的示例的截面圖；

圖13是示出根據第五實施例的激光雷達設備的配置的示例的示意圖；

圖14是示出根據第六實施例的激光器設備的配置的示例的示意圖。