[發(fā)明專利]研磨組合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980018296.0
• 申請(qǐng)日: 2019-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN111836869B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森山和樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 霓達(dá)杜邦股份有限公司
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02;C09K3/14;B24B37/04;H01L21/48;H05K3/00
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋融冰

本發(fā)明為研磨組合物，對(duì)樹脂進(jìn)行研磨，含有氧化鋁磨料、分散劑、水，所述氧化鋁磨料中的氧化鋁粒子的一次平均粒徑與通過動(dòng)態(tài)光散射法測(cè)定的所述氧化鋁粒子的平均粒徑之比為1：6.0～1：100。

關(guān)聯(lián)申請(qǐng)的相互參照

本申請(qǐng)主張日本專利申請(qǐng)2018-048058號(hào)的優(yōu)先權(quán)，并通過引用納入本申請(qǐng)說明書的記載中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及研磨組合物。

背景技術(shù)

近年，伴隨印制電路板、模塊基板、封裝基板等的小型化及高集成化，布線的精密化及高密度化也在推進(jìn)。該布線被重疊數(shù)層而形成有凹凸，因此需要通過研磨去除該凹凸，并使其變得平坦。

目前，在印制電路板等中，將由銅或銅合金構(gòu)成的布線層疊在由樹脂構(gòu)成的絕緣基板上，并由此形成導(dǎo)電層。作為對(duì)銅或銅合金進(jìn)行研磨的研磨組合物，例如已知一種研磨組合物，該研磨組合物含有硅膠等的磨料、銅絡(luò)合劑、烷基苯磺酸三乙醇胺、和水(專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本國特開2015-90922號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

最近，在對(duì)印制電路板等進(jìn)行研磨時(shí)，希望也同時(shí)對(duì)構(gòu)成絕緣基板的樹脂進(jìn)行研磨。尤其，希望以較高的研磨速度對(duì)樹脂進(jìn)行研磨。但是，目前若為了提高研磨速度而增大研磨組合物中所含有的磨料的粒徑，則存在該磨料會(huì)在研磨組合物中沉淀的問題。由此，無法均勻地將研磨組合物向研磨墊上供給。

發(fā)明欲解決的課題

本發(fā)明是鑒于這樣的現(xiàn)狀作出的發(fā)明，其課題在于提供一種研磨組合物，該研磨組合物能夠抑制磨料的沉淀、且能夠提高樹脂的研磨速度。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)，在利用含有氧化鋁磨料、分散劑及水的研磨組合物對(duì)樹脂進(jìn)行研磨時(shí)，通過使所述氧化鋁磨料中的氧化鋁粒子的一次平均粒徑與通過動(dòng)態(tài)光散射法測(cè)定的所述氧化鋁粒子的平均粒徑之比在特定的范圍，而能夠抑制磨料的沉淀、且提高樹脂的研磨速度。本發(fā)明的主旨如下。

本發(fā)明的研磨組合物，對(duì)樹脂進(jìn)行研磨，含有氧化鋁磨料、分散劑、水，所述氧化鋁磨料中的氧化鋁粒子的一次平均粒徑與通過動(dòng)態(tài)光散射法測(cè)定的所述氧化鋁粒子的平均粒徑之比為1：6.0～1：100。

本發(fā)明的研磨組合物，所述分散劑優(yōu)選為表面活性劑。

本發(fā)明的研磨組合物，所述表面活性劑優(yōu)選為烷基苯磺酸鹽。

附圖說明

圖1是表示利用實(shí)施例及比較例的研磨組合物對(duì)聚酰亞胺進(jìn)行研磨時(shí)的研磨速度的圖表。

具體實(shí)施方式

以下，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的研磨組合物進(jìn)行說明。

＜研磨組合物＞

本發(fā)明的實(shí)施方式的研磨組合物包含氧化鋁磨料、分散劑及水。

(氧化鋁磨料)

本實(shí)施方式的研磨組合物含有氧化鋁磨料。作為所述氧化鋁磨料，沒有特別限定，能夠從公知的各種氧化鋁粒子中進(jìn)行適當(dāng)選擇并使用。作為這樣公知的氧化鋁粒子，例如能夠列舉α-氧化鋁、γ-氧化鋁、δ-氧化鋁、θ-氧化鋁、η-氧化鋁、κ-氧化鋁、χ-氧化鋁等。另外，根據(jù)基于制法的分類，被稱作氣相氧化鋁的氧化鋁(典型的是在對(duì)氧化鋁鹽進(jìn)行高溫?zé)蓵r(shí)生成的氧化鋁微粒)、及被稱作膠體氧化鋁或氧化鋁溶膠的氧化鋁(例如勃姆石等氧化鋁水合物)也包含在所述公知的氧化鋁粒子的例子中。這些氧化鋁粒子可以單獨(dú)使用，也可以組合兩種以上進(jìn)行使用。