[發(fā)明專利]研磨組合物有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980018296.0 | 申請日： | 2019-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN111836869B | 公開（公告）日： | 2022-07-26 |
| 發(fā)明（設計）人： | 森山和樹 | 申請（專利權）人： | 霓達杜邦股份有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C09K3/14;B24B37/04;H01L21/48;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種研磨組合物，其特征在于，
對樹脂進行研磨，
所述研磨組合物含有氧化鋁磨料、分散劑、水，
所述氧化鋁磨料中的氧化鋁粒子的一次平均粒徑與通過動態(tài)光散射法測定的、形成簇的所述氧化鋁粒子的平均粒徑之比為1：6.0～1：100，
所述分散劑為表面活性劑，
所述分散劑的含量為0.3質量％以上且3.0質量％以下，
所述表面活性劑為烷基苯磺酸鹽。
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