[發明專利]絲網掩模的制造方法以及曝光裝置在審
| 申請號： | 201980015266.4 | 申請日： | 2019-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN111770839A | 公開（公告）日： | 2020-10-13 |
| 發明（設計）人： | 青木希仁;松本華奈;坪井惠;旭晃一 | 申請（專利權）人： | 米塔尼梅克羅尼株式會社 |
| 主分類號： | B41C1/055 | 分類號： | B41C1/055;B41F15/08;B41N1/24;G03F7/20;H01L31/0224;H05K3/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 曲天佐 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 絲網 制造 方法 以及 曝光 裝置 | ||
提供能夠實現高精度的印刷的絲網掩模的制造方法以及曝光裝置。本發明的一方式的絲網掩模的制造方法具備：曝光處理，以規定的曝光圖案對感光性材料的掩模膜照射光，在所述掩模膜形成規定的圖案開口，所述掩模膜形成于具有供涂覆材透過的透過部的網格部；以及基于所述透過部的信息校正所述曝光圖案具備。
技術領域
本發明的實施方式涉及絲網掩模的制造方法以及曝光裝置。
背景技術
作為印刷方法之一的絲網印刷法是如下方法：使用在網格上形成有由樹脂組合物形成的規定的圖案開口的絲網掩模，對被印刷物形成任意的印刷體。該絲網印刷法例如使用于布線、電極、熒光材料的印刷等各種印刷，并利用于包含電子部件等的各種領域中。
近年來，由于電子部件的小型化、高品質化，要求絲網掩模的高精度化。
例如絲網掩模具備：網格，其具有能夠使涂覆材透過的孔；以及掩模膜，其設于網格并具有圖案開口。例如在將形成掩模膜的乳劑涂覆于網格之后，通過重疊具有規定的圖案的光掩模的曝光處理而形成了圖案開口。
網格通過編織多個網格線材而構成。例如在圖案開口與網格線材重疊的情況下，圖案開口的一部分被網格材封堵，使得印刷形狀改變，難以獲得希望的印刷形狀。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1：日本特開2013－169783號公報
發明內容
發明將要解決的課題
本發明的目的在于提供能夠實現高精度的印刷的絲網掩模的制造方法以及曝光裝置。
用于解決課題的手段
本發明的一方式的絲網掩模的制造方法具備：曝光處理，以規定的曝光圖案對感光性材料的掩模膜照射光，在所述掩模膜形成規定的圖案開口，所述掩模膜形成于具有供涂覆材透過的透過部的網格部；以及基于所述透過部的信息校正所述曝光圖案。
根據本發明的實施方式，能夠提供可實現高精細的圖案形成的絲網掩模的制造方法以及曝光裝置。
附圖說明
圖1是表示第一實施方式絲網印刷裝置的構成的說明圖。
圖2是該絲網印刷裝置的絲網掩模的俯視圖。
圖3是放大示出該絲網掩模的一部分的俯視圖。
圖4是放大示出該絲網掩模的一部分的俯視圖。
圖5是放大示出該絲網掩模的一部分的剖面圖。
圖6是使用該絲網掩模形成了圖案的太陽能電池的說明圖。
圖7是表示該實施方式的絲網掩模的制造方法的說明圖。
圖8是表示該絲網掩模的制造方法的說明圖。
圖9是表示該絲網掩模的制造方法中的校正處理的說明圖。
圖10是表示其他實施方式的絲網掩模的構成的說明圖。
圖11是表示其他實施方式的絲網掩模的構成的說明圖。
圖12是表示其他實施方式的絲網掩模的構成的說明圖。
圖13是表示其他實施方式的絲網掩模的構成的說明圖。
圖14是表示其他實施方式的絲網掩模的構成的說明圖。
圖15是表示其他實施方式的絲網掩模的制造方法中的校正處理的說明圖。
具體實施方式
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于米塔尼梅克羅尼株式會社，未經米塔尼梅克羅尼株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201980015266.4/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
