[發明專利]絲網掩模的制造方法以及曝光裝置

在審

• 申請號: 201980015266.4
• 申請日: 2019-06-14
• 公開（公告）號: CN111770839A
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 青木希仁;松本華奈;坪井惠;旭晃一
• 申請（專利權）人: 米塔尼梅克羅尼株式會社
• 主分類號: B41C1/055
• 分類號: B41C1/055;B41F15/08;B41N1/24;G03F7/20;H01L31/0224;H05K3/12
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 曲天佐

1.一種絲網掩模的制造方法，具備：

曝光處理，以規定的曝光圖案對感光性材料的掩模膜照射光，在所述掩模膜形成規定的圖案開口，所述掩模膜形成于具有供涂覆材透過的透過部的網格部；以及

基于所述透過部的信息，對所述曝光處理的曝光圖案進行校正。

2.根據權利要求1所述的絲網掩模的制造方法，其中，

所述曝光處理為無掩模曝光，

在所述校正中，調整所述曝光圖案的基準位置與所述網格部的所述透過部的相對位置。

3.根據權利要求1或2所述的絲網掩模的制造方法，其中，

所述網格部具有并列配置有多條的網格線材，

所述圖案開口具有并列配置有多個的線狀開口，

在所述校正中，調整所述曝光圖案中的所述線狀開口的開口寬度、間距、以及形成所述網格部的網格線材與所述線狀開口的傾斜角度中的任意一個以上。

4.根據權利要求3所述的絲網掩模的制造方法，其中，

在所述校正中，使所述線狀開口的中心位置和多個所述網格線材的中間位置接近。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的絲網掩模的制造方法，其中，

具備檢測所述網格部的所述透過部的位置信息的步驟。

6.一種曝光裝置，其是以規定的曝光圖案對絲網掩模的掩模膜進行曝光的無掩模曝光機，該絲網掩模具備：網格部，其具有供涂覆材透過的透過部；以及掩模膜，其形成于所述網格部，其中，

所述曝光裝置，具備：

照射頭，其向所述絲網掩模的掩模膜照射光；

移動機構，其使所述照射頭與所述絲網掩模相對地移動；以及

控制部，其基于所述絲網掩模的所述透過部的位置信息，對所述曝光圖案進行校正。