[發明專利]光伏器件中吸收層的V族摻雜方法

在審

• 申請號: 201980010956.0
• 申請日: 2019-01-14
• 公開（公告）號: CN111630669A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: S·格羅弗;陸定原;R·馬利克;熊剛
• 申請（專利權）人: 第一陽光公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 童春媛;楊思捷

1.一種摻雜吸收層的方法，所述方法包括：

使吸收層與退火化合物接觸，其中：

吸收層包含鎘和碲；

退火化合物包含氯化鎘和包含陰離子和陽離子的V族鹽；

陰離子、陽離子或二者包含V族元素；

按重量/體積計，退火化合物內氯化鎘與V族鹽之比為至少30:1；和

使吸收層退火，由此用退火化合物的V族元素的至少一部分摻雜吸收層。

2.權利要求1的方法，其中退火化合物為溶液，并且V族鹽與退火化合物總量的比例小于100克/升。

3.權利要求2的方法，其中V族鹽與退火化合物總量的比例在1/25克/升和20克/升之間。

4.權利要求1的方法，其中吸收層的晶粒粒度在吸收層退火期間增大。

5.權利要求1的方法，其中V族鹽為砷酸二氫銨。

6.權利要求1的方法，其中V族鹽為磷酸氫二銨。

7.權利要求1的方法，其中V族元素為氮。

8.權利要求1的方法，其中V族元素為磷。

9.權利要求1的方法，其中V族元素為砷。

10.權利要求1的方法，其中V族元素為銻。

11.權利要求1的方法，其中V族元素為鉍。

12.權利要求1的方法，所述方法包括在使吸收層退火的同時使吸收層暴露于還原環境。

13.權利要求12的方法，其中還原環境包括構造成減輕V族氧化物生成的形成氣體，所述形成氣體包括氫、氮、碳或其組合。

14.權利要求1的方法，其中吸收層在350℃和500℃之間的溫度下退火5分鐘至60分鐘。

15.權利要求1的方法，其中：

退火化合物包括堿金屬氯化物；并且

至少部分V族摻雜劑在吸收層退火期間活化。

16.權利要求1的方法，其中在使吸收層退火后，在吸收層中心區域中的V族摻雜劑的原子濃度大于1x10¹⁶cm^-3。

17.權利要求1的方法，其中吸收層包含硒。

18.權利要求1至3中任一項的方法，其中吸收層的晶粒粒度在吸收層退火期間增大。

19.權利要求1至3和18中任一項的方法，其中V族鹽為砷酸二氫銨。

20.權利要求1至3和18中任一項的方法，其中V族鹽為磷酸氫二銨。

21.權利要求1至3和18中任一項的方法，其中V族元素為氮。

22.權利要求1至3和18中任一項的方法，其中V族元素為磷。

23.權利要求1至3和18至20中任一項的方法，其中V族元素為砷。

24.權利要求1至3和18中任一項的方法，其中V族元素為銻。

25.權利要求1至3和18中任一項的方法，其中V族元素為鉍。