[發(fā)明專利]離子槍有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980010691.4 | 申請日: | 2019-03-22 |
| 公開(公告)號: | CN111656481B | 公開(公告)日: | 2021-02-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 湯瀨琢巳;寺澤壽浩 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會社愛發(fā)科 |
| 主分類號: | H01J27/14 | 分類號: | H01J27/14;H01J37/08 |
| 代理公司: | 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018 | 代理人: | 崔今花;周艷玲 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 離子 | ||
1.一種離子槍,包括:
陽極;
磁極,具有與所述陽極相對的內(nèi)表面、位于所述內(nèi)表面的相反側(cè)的外表面、設(shè)置在與所述陽極對應(yīng)的位置上的狹縫和從所述外表面的一端朝向所述狹縫的中央延伸且形成所述狹縫的一部分的外傾斜面;和
罩,至少包覆所述外表面及所述外傾斜面且由非磁性材料構(gòu)造,
所述罩包括:
包覆所述磁極的所述外表面的第一包覆部;
與所述第一包覆部相連且包覆所述外傾斜面的第二包覆部;和
與所述第二包覆部相連且從所述第一包覆部和所述第二包覆部所相連的部分的相反側(cè)部分向所述陽極延伸的第三包覆部,
在所述第二包覆部及所述第三包覆部嵌合到所述狹縫的狀態(tài)下,所述罩通過緊固部件固定到所述磁極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子槍,其中,
所述磁極具有從所述外傾斜面的一端朝向所述內(nèi)表面延伸且形成所述狹縫的一部分的相互平行的豎直面,所述罩包覆所述豎直面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子槍,其中,
所述磁極具有從所述內(nèi)表面的一端朝向所述狹縫的中央延伸且形成所述狹縫的一部分的內(nèi)傾斜面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的離子槍,其中,
構(gòu)造所述罩的所述非磁性材料從由碳、鈦及銅組成的組中選擇。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的離子槍,其中,
構(gòu)造所述罩的所述非磁性材料為碳。
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