[實(shí)用新型]一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922495484.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN211605103U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪竹;魏益波;錢燕娟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王凱

1.一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置，其特征在于：所述裝置包含有排在一直線上的浸泡單元(1)、清洗單元(2)和片盒單元(3)，搬運(yùn)單元(4)包含有傳送軌道(4.1)，運(yùn)行于傳送軌道(4.1)上的傳動(dòng)模塊一(4.2)和傳動(dòng)模塊二(4.3)，所述傳動(dòng)模塊一(4.2)和傳動(dòng)模塊二(4.3)上均安裝有機(jī)械手。

2.如權(quán)利要求1所述一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置，其特征在于：所述浸泡單元(1)、清洗單元(2)和片盒單元(3)的中心位于中心線(101)上，所述傳送軌道(4.1)與中心線(101)相平行。

3.如權(quán)利要求1所述一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置，其特征在于：所述裝置還包含有勻膠單元和顯影單元，所述浸泡單元(1)、清洗單元(2)、片盒單元(3)、勻膠單元和顯影單元的中心均位于中心線(101)上。

4.如權(quán)利要求1所述一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置，其特征在于：所述浸泡單元(1)包含有盛裝溶劑的清洗槽、安裝于升降裝置上的平臺(tái)板，且平臺(tái)板位于清洗槽的正上方。

5.如權(quán)利要求1所述一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置，其特征在于：所述清洗單元(2)包含有帶有頂蓋的清洗腔，且清洗腔相互獨(dú)立設(shè)置有多個(gè)，且清洗單元(2)還包含有位于側(cè)壁的排風(fēng)機(jī)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求1所述一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置，其特征在于：傳動(dòng)模塊二(4.3)上的機(jī)械抓手為濕爪，濕爪上承載基片的一面開設(shè)兩條凹槽。

7.如權(quán)利要求6所述一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置，其特征在于：其中一凹槽的槽面上開有多個(gè)通孔。

8.如權(quán)利要求1所述一種導(dǎo)軌式剝離清洗裝置，其特征在于：傳動(dòng)模塊一(4.2)通為干爪，干爪上承載基片的一面開設(shè)數(shù)個(gè)凸起，凸起上有數(shù)個(gè)與抽真空裝置相連的小孔。