[實用新型]一種流水線式等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201922492354.3
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211182152U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 劉鑫培;沈文凱;王紅衛
• 申請（專利權）人: 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京潤川律師事務所 11643
• 代理人: 張超

本實用新型涉及一種流水線式等離子體處理裝置，包括機架組件、處理組件、傳輸組件，所述傳輸組件的數量為一組，每個所述傳輸組件分別設置在所述機架組件的兩端；所述機架組件包括主體框架、外框鈑金，所述主體框架設置在所述外框鈑金內；所述處理組件設置在所述主體框架上，所述處理組件包括真空腔、電極、抽真空接頭；本實用新型解決了現有技術中等離子體處理裝置的處理效率低、等離子體處理均勻性有限的缺陷，本實用新型能夠實現對產品進行流水線式等離子體處理，提高處理效率，提高等離子體處理的均勻性，從而提高產品的處理質量。

技術領域

本實用新型涉及等離子體設備技術領域，具體地說是一種流水線式等離子體處理裝置。

背景技術

等離子體是由大量的帶電粒子(包含自由電子、帶正電的離子和代負電的離子，也可以存在中性粒子)組成的非束縛態宏觀體系，是物質存在的第四態。由于自由電子和正離子的數密度近似相等，等離子體對外整體上呈現電中性。

等離子體技術在眾多領域都具有十分顯著的優點，在對材料表面進行改性處理方面，具有成本低、無廢棄物、無污染等優點；在殺菌消毒方面具有安全性高、無藥物殘留、滅菌時間短、無環境污染等優點；在對各類污染物(廢氣、廢水)處理方面具有能耗低、效率高、處理流程短、適用范圍廣等優點。

現有技術中等離子體處理裝置一方面在使用過程中存在人工成本高，處理效率低的問題，例如，往往需要人工每次處理前打開腔門，將待處理產品放置到真空腔內，關閉真空腔，然后抽真空，待真空度達到背底真空后，充入工藝氣體，達到平衡后，打開電源進行放電，待等離子體處理完成后，關閉電源，關閉充氣，關閉真空泵，打開破真空閥，待真空腔內壓力達到大氣壓后，打開真空腔，再人工將處理完成的產品從真空腔中取出，重復上述操作完成一批待處理產品；另一方面，現有等離子體處理裝置多采用DBD放電的方式，對產品處理的均勻性有效，容易影響等離子體處理質量。

現有等離子體處理裝置多為單獨設置，很少與加工流水線配合使用，往往需要將待處理產品集中起來，然后單獨運送至等離子處理裝置處進行處理，屬于離線式操作，導致處理效率低，產品生產加工成本高。

因此，如何提供一種流水線式等離子體處理裝置，以實現對產品進行流水線式等離子體處理，提高處理效率，提高等離子體處理的均勻性，從而提高產品的處理質量，是目前本領域技術人員亟待解決的技術問題。

實用新型內容

有鑒于此，本申請的目的在于提供一種等離子體處理裝置，以實現對產品進行流水線式等離子體處理，提高處理效率，提高等離子體處理的均勻性，從而提高產品的處理質量。

為了達到上述目的，本申請提供如下技術方案。

一種流水線式等離子體處理裝置，包括機架組件、處理組件、傳輸組件，所述傳輸組件的數量為一組，每個所述傳輸組件分別設置在所述機架組件的兩端；

所述機架組件包括主體框架、外框鈑金，所述主體框架設置在所述外框鈑金內；

所述處理組件設置在所述主體框架上，所述處理組件包括真空腔、電極、抽真空接頭。

優選地，所述真空腔包括腔體、前蓋、后蓋，所述前蓋、后蓋分別設置在所述腔體的兩端；

所述腔體內設置有滾筒輸送組件，所述滾筒輸送組件包括第一電機、動力軸、滾筒及架板；所述架板包括第一架板和第二架板，所述滾筒兩端分別固定在所述第一架板和第二架板上；

所述動力軸與所述第一電機傳動連接，所述動力軸與所述滾筒通過齒輪傳動連接。

優選地，所述腔體兩端分別有一組導向槽和一組動力組件，每組導向槽和每組動力組件相對應，每組所述導向槽與所述前蓋/后蓋相配合；

所述前蓋/后蓋的兩端分別設置有滾輪，所述滾輪與所述導向槽相配合，以使得所述前蓋/后蓋相對所述腔體滑動，實現所述腔體的開啟和關閉。