[實用新型]一種流水線式等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201922492354.3
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211182152U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 劉鑫培;沈文凱;王紅衛
• 申請（專利權）人: 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京潤川律師事務所 11643
• 代理人: 張超

1.一種流水線式等離子體處理裝置，其特征在于，包括機架組件(1)、處理組件(2)、傳輸組件(3)，所述傳輸組件(3)的數量為一組，每個所述傳輸組件(3)分別設置在所述機架組件(1)的兩端；

所述機架組件(1)包括主體框架(101)、外框鈑金(102)，所述主體框架(101)設置在所述外框鈑金(102)內；

所述處理組件(2)設置在所述主體框架(101)上，所述處理組件(2)包括真空腔、電極(204)、抽真空接頭(205)。

2.根據權利要求1所述的流水線式等離子體處理裝置，其特征在于，所述真空腔包括腔體(201)、前蓋(202)、后蓋(203)，所述前蓋(202)、后蓋(203)分別設置在所述腔體(201)的兩端；

所述腔體(201)內設置有滾筒輸送組件(4)，所述滾筒輸送組件(4)包括第一電機(401)、動力軸(402)、滾筒(403)及架板(404)；所述架板(404)包括第一架板和第二架板，所述滾筒(403)兩端分別固定在所述第一架板和第二架板上；

所述動力軸(402)與所述第一電機(401)傳動連接，所述動力軸(402)與所述滾筒(403)通過齒輪傳動連接。

3.根據權利要求2所述的流水線式等離子體處理裝置，其特征在于，所述腔體(201)兩端分別有一組導向槽(206)和一組動力組件，每組導向槽(206)和每組動力組件相對應，每組所述導向槽(206)與所述前蓋(202)/后蓋(203)相配合；

所述前蓋(202)/后蓋(203)的兩端分別設置有滾輪，所述滾輪與所述導向槽(206)相配合，以使得所述前蓋(202)/后蓋(203)相對所述腔體(201)滑動，實現所述腔體(201)的開啟和關閉。

4.根據權利要求3所述的流水線式等離子體處理裝置，其特征在于，所述腔體(201)的兩端上均設置有感應頭，所述前蓋(202)和/或后蓋(203)上設置有視窗蓋。

5.根據權利要求3所述的流水線式等離子體處理裝置，其特征在于，所述動力組件包括油缸(207)和伸縮桿(208)，所述油缸(207)一端固定在所述機架組件(1)上，另一端與所述伸縮桿(208)一端相連接，所述伸縮桿(208)的另一端通過魚眼接頭與所述前蓋(202)/后蓋(203)固定連接，以使得所述油缸(207)通過調節伸縮桿(208)的伸縮帶動前蓋(202)/后蓋(203)的上下移動。

6.根據權利要求2-5任一所述的流水線式等離子體處理裝置，其特征在于，所述電極(204)為U型電極，所述電極(204)與腔體(201)之間設置有絕緣板(209)，所述絕緣板(209)的兩端分別通過鋁墊塊(210)與所述腔體(201)固定；

所述電極(204)上端連接有電極柱(211)，所述電極柱(211)通過電極絕緣套固定在所述腔體(201)上。

7.根據權利要求2-5任一項所述的流水線式等離子體處理裝置，其特征在于，所述傳輸組件(3)包括傳輸架(301)、驅動組件(302)，所述傳輸架(301)包括上平臺(311)、下平臺(312)及支柱(313)，所述驅動組件(302)和調寬組件(303)均設置在所述上平臺(311)上。

8.根據權利要求7所述的流水線式等離子體處理裝置，其特征在于，所述驅動組件(302)包括第二電機(321)、主動軸(322)、從動軸(323)，所述第二電機(321)通過聯軸器與所述主動軸(322)連接，所述主動軸(322)、從動軸(323)的兩端分別通過固定支座固定在所述上平臺(311)上；

所述主動軸(322)、從動軸(323)的兩端分別設置有鏈輪，所述主動軸(322)和從動軸(323)之間通過鏈條傳動連接。