[實用新型]一種氣相沉積爐

有效

• 申請號: 201922484193.3
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211595793U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 馬付根;江南;宋茜茜
• 申請（專利權）人: 寧波晨鑫維克工業科技有限公司;安徽晨鑫維克工業科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種氣相沉積爐，包括加熱爐體(1)和料架(2)；所述加熱爐體(1)具有供料架(2)放置的反應空腔(11)，所述加熱爐體(1)內設有布氣管道(12)，其特征在于，所述布氣管道(12)的中部還設有將布氣管道(12)的通道隔斷的隔板(122)，所述布氣管道(12)的兩端均設有為布氣管道(12)供氣的進氣管道(13)；所述加熱爐體(1)的兩端設有與反應空腔(11)連通的排氣管道(17)、控制排氣管道(17)開閉的排氣閥(171)，所述氣相沉積爐還設有與排氣管道(17)連接的真空泵(4)；所述料架(2)包括旋轉軸(21)和安裝于旋轉軸(21)的轉筒(22)；所述加熱爐體(1)還設有驅動所述轉筒(22)旋轉的驅動電機(6)，所述加熱爐體(1)還設有旋轉支撐于所述旋轉軸(21)兩端的支撐組件(8)。

2.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述加熱爐體(1)在遠離所述驅動電機(6)的一端還設有供所述料架(2)進入所述反應空腔(11)的爐口以及將所述爐口蓋合的爐門(18)；所述旋轉軸(21)具有貫穿其兩端的插孔(211)；所述氣相沉積爐還設有取放料架(2)的取料裝置(3)；所述取料裝置(3)包括取料小車(91)和供取料小車(91)滑移的導軌(92)；所述取料小車(91)具有與旋轉軸(21)的插孔(211)配合的插柱(93)；所述驅動電機(6)的輸出軸和所述旋轉軸(21)的端部通過卡接組件可拆卸配合。

3.根據權利要求2所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述插柱(93)的長度至少為旋轉軸(21)的長度的二分之一。

4.根據權利要求2所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述卡接組件包括設于旋轉軸(21)端部的卡接座(71)以及設于驅動電機(6)的輸出軸上的卡接頭(72)；所述卡接座(71)朝向卡接頭(72)的端面周向設有至少兩個定位孔(712)，卡接頭(72)具有與所述定位孔(712)配合的彈性插接結構。

5.根據權利要求4所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述彈性插接結構包括開設于卡接頭(72)的安裝槽(731)、插接柱(732)、彈簧(733)和安裝蓋(734)；所述安裝蓋(734)將所述安裝槽(731)的槽口蓋合，所述安裝蓋(734)具有供所述插接柱(732)端部貫穿的通孔；所述插接柱(732)置于安裝槽(731)且具有抵接環(7321)；所述彈簧(733)套設于所述插接柱(732)，所述彈簧(733)的一端抵接于所述安裝槽(731)的底部且另一端抵接于抵接環(7321)，使得所述插接柱(732)的端部能夠貫穿所述安裝蓋(734)的通孔并插入到所述定位孔(712)。

6.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述加熱爐體(1)在其兩端均設有排氣部，所述排氣部均具有排氣空腔(153)，所述排氣部在排氣空腔(153)設有與排氣管道(17)連接的排氣環(16)，所述排氣環(16)具有與排氣管道(17)連通的環形空腔，所述排氣環(16)在其內環側壁上周向開設有多個與環形空腔連通的排氣口(162)。

7.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述排氣管道(17)上均設有過濾器。

8.根據權利要求2所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述支撐組件(8)包括支撐氣缸(81)和安裝于支撐氣缸(81)的活塞桿處且用于支撐旋轉軸(21)端部的支撐座(82)；所述支撐氣缸(81)安裝于加熱爐體(1)且所述支撐氣缸(81)的活塞桿豎直向上貫穿加熱爐體(1)；所述支撐座(82)具有供旋轉軸(21)端部放置的支撐弧槽(821)。

9.根據權利要求8所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述支撐座(82)在支撐滑槽的底面沿軸向間隔布置有C形的卡槽且在所述卡槽內設置有C形的耐磨環(822)。

10.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐，其特征在于，所述旋轉軸(21)的兩端均設有隔熱盤(23)。