[實用新型]對半導(dǎo)體設(shè)備多路循環(huán)液的高精度溫調(diào)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922479667.5
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211045388U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘鴻當(dāng);趙一航;周明輝
• 申請（專利權(quán)）人: 河北艾法茨科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中企鴻陽知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11487
• 代理人: 徐晶石

本實用新型提出了一種對半導(dǎo)體設(shè)備多路循環(huán)液的高精度溫調(diào)裝置，包括柜體及設(shè)置于柜體內(nèi)部的控制柜、液體循環(huán)裝置，所述控制柜連接液體循環(huán)裝置的控制端；所述液體循環(huán)裝置包括循環(huán)組件、出水組件、進水組件、冷水組件、過濾組件；所述循環(huán)組件包括水循環(huán)箱、循環(huán)泵、三通閥；所述水循環(huán)箱上設(shè)有浮球液位開關(guān)、電熱管、四氟管、水阻值傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器，所述循環(huán)泵的出口處設(shè)有三通閥，且通過三通閥與出水組件和過濾組件連接；本實用新型采用多路出水快插接頭和進水快插接頭的設(shè)計，便于管道之間的快速插接，還有利于實現(xiàn)利用多組循環(huán)管道對不同的外部設(shè)備進行冷卻，還解決了使用設(shè)備對循環(huán)液的溫度、水阻值的要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及循環(huán)液溫調(diào)裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種對半導(dǎo)體設(shè)備多路循環(huán)液的高精度溫調(diào)裝置。

背景技術(shù)

目前，現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備循環(huán)液溫調(diào)裝置存在以下問題：

1、現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備循環(huán)液溫調(diào)裝置的占地面積也大，不能應(yīng)用于空間較小的區(qū)域內(nèi)，其應(yīng)用范圍窄。

2、現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備循環(huán)液溫調(diào)裝置對循環(huán)液的水阻值要求較高，裝置本身不能對自身循環(huán)液的水阻值進行修改。

3、現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備循環(huán)液溫調(diào)裝置對循環(huán)液在循環(huán)過程中的溫控效果較差。

4、現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備循環(huán)液溫調(diào)裝置不能實現(xiàn)多路循環(huán)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的旨在至少解決所述技術(shù)缺陷之一。

為此，本實用新型的目的在于提出一種對半導(dǎo)體設(shè)備多路循環(huán)液的高精度溫調(diào)裝置，采用多路出水快插接頭和進水快插接頭的設(shè)計，便于管道之間的快速插接，還有利于實現(xiàn)利用多組循環(huán)管道對不同的外部設(shè)備進行冷卻，還解決了使用設(shè)備對循環(huán)液的溫度、水阻值的要求。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種對半導(dǎo)體設(shè)備多路循環(huán)液的高精度溫調(diào)裝置，包括柜體及設(shè)置于柜體內(nèi)部的控制柜、液體循環(huán)裝置，所述控制柜連接液體循環(huán)裝置的控制端；

所述液體循環(huán)裝置包括循環(huán)組件、出水組件、進水組件、冷水組件、過濾組件；

所述循環(huán)組件包括水循環(huán)箱、循環(huán)泵、三通閥；所述水循環(huán)箱上設(shè)有浮球液位開關(guān)、電熱管、四氟管、水阻值傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器，所述水循環(huán)箱還與排液閥連接，所述循環(huán)泵設(shè)置于水循環(huán)箱上方，且所述循環(huán)泵的出口處設(shè)有三通閥，且通過三通閥與出水組件和過濾組件連接；

所述出水組件包括與三通閥連接的出水管道、與出水管道連接的多路出水快插接頭，所述出水管道上還設(shè)有出水溫度傳感器，每路出水快插接頭上設(shè)有出水回路閥和出水回路單向閥，所述水循環(huán)箱還通過換熱器與進水組件、冷水組件連接；

所述進水組件包括與換熱器連接的進水管道、與進水管道連接的多路進水快插接頭，每路進水快插接頭上設(shè)有進水回路閥；

所述冷水組件包括冷水進水接頭、旁通管道、冷水出水接頭，所述冷水進水接頭與冷水出水接頭都與所述換熱器連接，所述旁通管道連接冷水進水接頭和冷水出水接頭；

所述控制柜包括電源組件、控制器組件、通訊組件，所述電源組件與控制器組件電性連接，所述控制器組件與通訊組件電性連接。

在上述任一方案中優(yōu)選的是，所述過濾組件包括第一過濾器、第二過濾器、過濾器閥門，所述三通閥通過過濾器閥門分別與第一過濾器的輸入端、第二過濾器的輸入端連接，所述第一過濾器的輸出端、第二過濾器的輸出端都與所述水循環(huán)箱連接。

在上述任一方案中優(yōu)選的是，所述第一過濾器、第二過濾器都通過綁帶固定于柜體，所述第一過濾器、第二過濾器上都設(shè)有手閥。