[實用新型]對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置

有效

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• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211045388U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設計）人: 潘鴻當;趙一航;周明輝
• 申請（專利權）人: 河北艾法茨科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中企鴻陽知識產權代理事務所(普通合伙) 11487
• 代理人: 徐晶石

1.一種對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，包括柜體及設置于柜體內部的控制柜、液體循環(huán)裝置，所述控制柜連接液體循環(huán)裝置的控制端；

所述液體循環(huán)裝置包括循環(huán)組件、出水組件、進水組件、冷水組件、過濾組件；

所述循環(huán)組件包括水循環(huán)箱、循環(huán)泵、三通閥；所述水循環(huán)箱上設有浮球液位開關、電熱管、四氟管、水阻值傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器，所述水循環(huán)箱還與排液閥連接，所述循環(huán)泵設置于水循環(huán)箱上方，且所述循環(huán)泵的出口處設有三通閥，且通過三通閥與出水組件和過濾組件連接；

所述出水組件包括與三通閥連接的出水管道、與出水管道連接的多路出水快插接頭，所述出水管道上還設有出水溫度傳感器，每路出水快插接頭上設有出水回路閥和出水回路單向閥，所述水循環(huán)箱還通過換熱器與進水組件、冷水組件連接；

所述進水組件包括與換熱器連接的進水管道、與進水管道連接的多路進水快插接頭，每路進水快插接頭上設有進水回路閥；

所述冷水組件包括冷水進水接頭、旁通管道、冷水出水接頭，所述冷水進水接頭與冷水出水接頭都與所述換熱器連接，所述旁通管道連接冷水進水接頭和冷水出水接頭；

所述控制柜包括電源組件、控制器組件、通訊組件，所述電源組件與控制器組件電性連接，所述控制器組件與通訊組件電性連接。

2.如權利要求1所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述過濾組件包括第一過濾器、第二過濾器、過濾器閥門，所述三通閥通過過濾器閥門分別與第一過濾器的輸入端、第二過濾器的輸入端連接，所述第一過濾器的輸出端、第二過濾器的輸出端都與所述水循環(huán)箱連接。

3.如權利要求2所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述第一過濾器、第二過濾器都通過綁帶固定于柜體，所述第一過濾器、第二過濾器上都設有手閥。

4.如權利要求1所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述電源組件至少包括控制變壓器、開關電源、變頻器、濾波器、斷路器、電流感應開關、接觸器、航空插頭；所述控制變壓器、開關電源、變頻器、濾波器、電流感應開關都固定與柜體內部，所述航空插頭通過航空插頭底座固定于柜體側面，所述斷路器、接觸器通過連接模塊固定于柜體內部。

5.如權利要求1或4所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述電源組件還包括急停按鈕輔助觸點，所述急停按鈕輔助觸點設置于柜體內部，且與柜體外部的急停按鈕連接，所述急停按鈕外部設有急停按鈕保護罩。

6.如權利要求1所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述控制器組件包括CPU、DI控制器、DI/DO模塊、AI/AQ模塊、熱電阻模塊、晶體管輸出板、繼電器模塊、顯示屏；所述CPU、DI控制器、DI/DO模塊、AI/AQ模塊、熱電阻模塊、晶體管輸出板都固定與柜體內部，且繼電器模塊通過繼電器插座固定，所述顯示屏安裝在柜體外部，所述CPU分別與DI控制器、DI/DO模塊、AI/AQ模塊、熱電阻模塊、晶體管輸出板、繼電器模塊、顯示屏電性連接。

7.如權利要求1所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述通訊組件包括通訊插針連接器、連接信號線，所述通訊插針連接器與連接信號線連接。

8.如權利要求1所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述柜體底部設有底座，所述底座下方設有腳輪、地腳，所述排液閥安裝于底座下部，所述底座上還安裝漏液開關。

9.如權利要求1所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述出水快插接頭上的出水回路閥的兩側設有對絲。

10.如權利要求1所述的對半導體設備多路循環(huán)液的高精度溫調裝置，其特征在于，所述冷水進水接頭與冷水閥連接。