[實用新型]一種火焰水解沉積裝置

有效

• 申請號: 201922473166.6
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211707301U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 胡海鑫;王文進
• 申請（專利權）人: 廣東瑞芯源技術有限公司
• 主分類號: B05D1/00
• 分類號: B05D1/00
• 代理公司: 廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228
• 代理人: 高崇

1.一種火焰水解沉積裝置，包括有用于裝載硅晶圓片（5）的轉臺（1）和設于所述轉臺（1）上方、用于產生火焰以使硅晶圓片（5）上形成沉積硅膜的噴炬；其特征在于：所述轉臺（1）上設置有用于固定和裝載硅晶圓片（5）的圓型凹槽（3）；所述圓型凹槽（3）的中心位置上成型有呈圓柱狀的凸臺（4），其中，所述凸臺（4）的頂面的輪廓形狀與所述硅晶圓片（5）的輪廓形狀相一致以供所述硅晶圓片（5）水平放置，且當所述硅晶圓片（5）放置于所述凸臺（4）上時，所述硅晶圓片（5）的頂面與所述轉臺（1）的頂面相齊平；所述凸臺（4）的邊緣與所述圓型凹槽（3）的內壁之間設置有一可升降移動的圓環（6），當所述圓環（6）上升至最高位置時，所述圓環（6）的頂面與凸臺（4）上的硅晶圓片（5）的頂面相齊平以使得硅晶圓片（5）限位于所述圓環（6）的內環內，當所述圓環（6）下降至最低位置時，所述圓環（6）的頂面的高度低于所述硅晶圓片（5）的底面以使所述硅晶圓片（5）的邊緣完全顯露出來。

2.根據權利要求1所述的一種火焰水解沉積裝置，其特征在于：所述圓環（6）的底面與所述圓型凹槽（3）的底壁之間設置有壓縮彈簧（7），所述壓縮彈簧（7）一端抵撐于所述圓型凹槽（3）的底壁，另一端抵撐于所述圓環（6）的底面。

3.根據權利要求2所述的一種火焰水解沉積裝置，其特征在于：所述圓環（6）的頂面靠近邊緣處開設有環形槽（61），所述圓型凹槽（3）的開口的邊沿處朝內側成型有與所述環形槽（61）形狀相吻合的環形凸緣（31）；自然狀態下，所述圓環（6）在壓縮彈簧（7）的抵撐作用下處于最高位置，此時所述環形槽（61）與所述環形凸緣（31）相貼合抵觸。

4.根據權利要求2所述的一種火焰水解沉積裝置，其特征在于：所述圓環（6）的邊緣間隔分布有多個導向槽，多個所述導向槽均沿豎直方向延伸且貫穿圓環（6）的邊緣，所述圓型凹槽（3）的內壁上間隔成型有多條導向條，所述圓環（6）的邊緣上的多個導向槽分別一一對應地沿多條導向條滑動。

5.根據權利要求1所述的一種火焰水解沉積裝置，其特征在于：所述圓環（6）的厚度小于所述凸臺（4）的厚度。