[實用新型]一種半導體測試設備探針臺用調節支架

有效

• 申請號: 201922467471.4
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211453717U
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 朱松
• 申請（專利權）人: 蘇州三像智能科技有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/067;G01R1/14;G01R31/26
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385
• 代理人: 劉巍

本實用新型公開了一種半導體測試設備探針臺用調節支架，涉及探針臺調節裝置技術領域，包括底座，底座的頂部開設有滑槽，滑槽的內壁滑動連接有滑塊，滑槽的內壁一側固定連接有軸承，底座的一側開設有螺孔，螺孔的一側設置有第一轉柄，第一轉柄的一側轉動連接有螺桿，螺桿的一端貫穿螺孔和滑塊延伸至軸承的一側，且與軸承的一側轉動連接，滑塊的頂部固定連接有支撐臺，支撐臺的頂部開設有圓孔，圓孔的一側設置有轉盤，轉盤的底部轉動連接有轉軸。本實用新型通過螺桿和滑塊的配合使用，實現了對探測針的位置進行移動的目的，操作簡單，提高了移動的便捷性，且通過手動調節，比較容易控制，提高了檢測的準確性。

技術領域

本實用新型涉及探針臺調節裝置技術領域，特別涉及一種半導體測試設備探針臺用調節支架。

背景技術

探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本，由于對半導體進行測試是在較小的空間內來進行操作的，探針需要對半導體定位接觸，如果直接手動對探針進行調節，則會導致誤差過大，而且容易對半導體造成損傷，從而影響測試的結果。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種半導體測試設備探針臺用調節支架，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體測試設備探針臺用調節支架，包括底座，所述底座的頂部開設有滑槽，所述滑槽的內壁滑動連接有滑塊，所述滑槽的內壁一側固定連接有軸承，所述底座的一側開設有螺孔，所述螺孔的一側設置有第一轉柄，所述第一轉柄的一側轉動連接有螺桿，所述螺桿的一端貫穿螺孔和滑塊延伸至軸承的一側，且與軸承的一側轉動連接，所述滑塊的頂部固定連接有支撐臺。

優選的，所述支撐臺的頂部開設有圓孔，所述圓孔的一側設置有轉盤，所述轉盤的底部轉動連接有轉軸，所述轉軸的一端貫穿圓孔且通過連接塊與支撐臺的內壁底部轉動連接，所述轉軸的外壁底部套接有第一齒輪，所述第一齒輪嚙合連接有第二齒輪，所述第二齒輪的一側轉動連接有轉桿，所述轉桿的一端貫穿支撐臺的一側且轉動連接有第二轉柄，所述轉盤的頂部固定連接有承載板。

優選的，所述承載板的頂部設置有橫板，所述承載板與橫板之間設置有減震機構。

優選的，所述橫板的頂部一側通過螺釘固定連接有調節板，所述調節板的底部一側固定連接有探測針。

優選的，所述減震機構包括阻尼器，所述承載板的頂部與多個阻尼器的底部固定連接，多個所述阻尼器的頂部均固定連接有固定塊，多個所述固定塊均與橫板的底部固定連接，多個所述阻尼器的外部均套接有減震彈簧，多個所述減震彈簧的底端與承載板的頂部固定連接，多個所述減震彈簧的頂端均與橫板的底部固定連接。

優選的，所述底座的底部四個邊角處分別固定連接有支撐腿，四個所述支撐腿的底部分別固定連接有墊圈。

本實用新型的技術效果和優點：

1、本實用新型通過螺桿和滑塊的配合使用，實現了對探測針的位置進行移動的目的，操作簡單，提高了移動的便捷性，且通過手動調節，比較容易控制，提高了檢測的準確性；

2、本實用新型通過第一齒輪、第二齒輪、轉盤和轉桿的設置，實現了對探測針的運動方向盡心調節的目的，提高了探測針運動的便捷性，從而提高了檢測效果。

附圖說明

圖1為本實用新型立體結構示意圖。

圖2為本實用新型正面結構示意圖。

圖3為本實用新型圖2中A處局部放大結構示意圖。