[實用新型]一種半導體測試設備探針臺用調節支架

有效

• 申請號: 201922467471.4
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211453717U
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 朱松
• 申請（專利權）人: 蘇州三像智能科技有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/067;G01R1/14;G01R31/26
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385
• 代理人: 劉巍

1.一種半導體測試設備探針臺用調節支架，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的頂部開設有滑槽(2)，所述滑槽(2)的內壁滑動連接有滑塊(3)，所述滑槽(2)的內壁一側固定連接有軸承，所述底座(1)的一側開設有螺孔，所述螺孔的一側設置有第一轉柄(4)，所述第一轉柄(4)的一側轉動連接有螺桿(5)，所述螺桿(5)的一端貫穿螺孔和滑塊(3)延伸至軸承的一側，且與軸承的一側轉動連接，所述滑塊(3)的頂部固定連接有支撐臺(6)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體測試設備探針臺用調節支架，其特征在于：所述支撐臺(6)的頂部開設有圓孔，所述圓孔的一側設置有轉盤(7)，所述轉盤(7)的底部轉動連接有轉軸(8)，所述轉軸(8)的一端貫穿圓孔且通過連接塊與支撐臺(6)的內壁底部轉動連接，所述轉軸(8)的外壁底部套接有第一齒輪(9)，所述第一齒輪(9)嚙合連接有第二齒輪(10)，所述第二齒輪(10)的一側轉動連接有轉桿(11)，所述轉桿(11)的一端貫穿支撐臺(6)的一側且轉動連接有第二轉柄(12)，所述轉盤(7)的頂部固定連接有承載板(13)。

3.根據權利要求2所述的一種半導體測試設備探針臺用調節支架，其特征在于：所述承載板(13)的頂部設置有橫板(14)，所述承載板(13)與橫板(14)之間設置有減震機構。

4.根據權利要求3所述的一種半導體測試設備探針臺用調節支架，其特征在于：所述橫板(14)的頂部一側通過螺釘固定連接有調節板(15)，所述調節板(15)的底部一側固定連接有探測針(16)。

5.根據權利要求3所述的一種半導體測試設備探針臺用調節支架，其特征在于：所述減震機構包括阻尼器(17)，所述承載板(13)的頂部與多個阻尼器(17)的底部固定連接，多個所述阻尼器(17)的頂部均固定連接有固定塊，多個所述固定塊均與橫板(14)的底部固定連接，多個所述阻尼器(17)的外部均套接有減震彈簧(18)，多個所述減震彈簧(18)的底端與承載板(13)的頂部固定連接，多個所述減震彈簧(18)的頂端均與橫板(14)的底部固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種半導體測試設備探針臺用調節支架，其特征在于：所述底座(1)的底部四個邊角處分別固定連接有支撐腿(19)，四個所述支撐腿(19)的底部分別固定連接有墊圈。