[實用新型]一種適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置

有效

• 申請號: 201922466720.8
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211015011U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 冀然
• 申請（專利權）人: 青島天仁微納科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于，包括：工作臺，所述工作臺上表面設有導軌，與所述導軌滑動連接有導桿，所述導桿一端垂直連接有定位桿，所述定位桿上連接有把手，所述導桿另一端連接有用于定位基片的V字型的定位板，所述工作臺上設有與所述導桿平行的限位板，所述限位板與工作臺滑動連接可平行的向所述導桿移動，所述限位板靠近所述導桿一端垂直連接有多個限位柱，在所述限位板上自靠近所述定位板一端的限位柱向靠近所述把手一端的限位柱的長度尺寸逐漸遞減。

2.根據權利要求1所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：在所述導軌靠近所述定位桿一端設置有用于限定所述導桿運動行程的端部限位板。

3.根據權利要求1所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：在所述限位柱上靠近所述導桿一端設置有磁體。

4.根據權利要求2所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：所述圓心定位裝置還包括控制器。

5.根據權利要求4所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：與所述導桿靠近所述定位桿一端連接有用于驅動所述導桿沿導軌移動的驅動機構A，所述驅動機構A與所述控制器電性連接。

6.根據權利要求5所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：在所述限位柱上靠近所述導桿一端以及端部限位板上分別設置有限位開關，所述限位開關分別與所述控制器電性連接。

7.根據權利要求5所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：所述驅動機構A為液壓缸、氣缸或者電動缸中的任意一種。

8.根據權利要求4所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：所述工作臺上設置有導槽，所述限位板上設置有與所述導槽適配的滑塊。

9.根據權利要求8所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：與所述限位板連接有可驅動所述滑塊沿導槽移動的驅動機構B，所述驅動機構B與控制器電性連接。

10.根據權利要求9所述的適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，其特征在于：所述驅動機構B為液壓缸、氣缸或者電動缸中的任意一種。