[實用新型]一種適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置

有效

• 申請號: 201922466720.8
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211015011U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 冀然
• 申請（專利權）人: 青島天仁微納科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提出一種適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，包括：工作臺，工作臺上表面設有導軌，與導軌滑動連接有導桿，導桿一端垂直連接有定位桿，定位桿上連接有把手，導桿另一端連接有用于定位基片的V字型的定位板，工作臺上設有與導桿平行的限位板，限位板與工作臺滑動連接可平行的向導桿移動，限位板靠近導桿一端垂直連接有多個限位柱，在限位板上自靠近定位板一端的限位柱向靠近把手一端的限位柱的長度尺寸逐漸遞減。本實用新型可應用于多種尺寸的圓形基片的圓心定位，不僅能夠提高定位精度，且能夠保證膠層厚度的一致性和均勻性。

技術領域

本實用新型屬于納米壓印技術領域，尤其涉及一種適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置。

背景技術

納米壓印技術通過機械轉移的手段達到了超高的分辨率，是一種新型的微納加工技術，納米壓印的基本步驟包括在基片上涂覆膠液，壓印，固化，分離等，而壓印膠的涂覆方式有旋涂、滴膠、滾涂、噴霧等方式，其中旋涂最為常見。

旋涂原理即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液，旋轉速度，旋轉時間和基片間的粘滯系數而不同。在旋涂開始之前，需把基片放置在吸盤中心，保證基片的中心和吸盤的中心同軸，若基片圓心偏離吸盤圓心，會影響基片在高速旋轉時的穩定性，影響膠層厚度的一致性和均勻性。

CN208945650 U公開了一種高精度定位圓心的工裝，從導向孔內將工件插入定位座內的錐形孔內，然后向左壓定位座至最大位移處，調節托座高度，使托座上的工件保持水平，調節后再通過固定機構將定位座固定，即可確保工件左端面的圓心與加工孔同軸。但是由于該裝置通過弧形圓槽進行定位，在對不同尺寸基片的進行圓心定位時，需更換弧形圓槽，不能同時應用于多種尺寸的基片的圓心定位，降低了工作效率。

發明內容

本實用新型針對上述的技術問題，提出一種適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，此裝置可應用于多種尺寸的圓形基片的圓心定位，不僅能夠提高定位精度，且能夠保證膠層厚度的一致性和均勻性。

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，包括：工作臺，所述工作臺上表面設有導軌，與所述導軌滑動連接有導桿，所述導桿一端垂直連接有定位桿，所述定位桿上連接有把手，所述導桿另一端連接有用于定位基片的V字型的定位板，所述工作臺上設有與所述導桿平行的限位板，所述限位板與工作臺滑動連接可平行的向所述導桿移動，所述限位板靠近所述導桿一端垂直連接有多個限位柱，在所述限位板上自靠近所述定位板一端的限位柱向靠近所述把手一端的限位柱的長度尺寸逐漸遞減。

作為優先的，上述適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，在所述導軌靠近所述定位桿一端設置有用于限定所述導桿運動行程的端部限位板。

作為優先的，上述適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，在所述限位柱上靠近所述導桿一端設置有磁體。

作為優先的，上述適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，所述圓心定位裝置還包括控制器。

作為優先的，上述適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，與所述導桿靠近所述定位桿一端連接有用于驅動所述導桿沿導軌移動的驅動機構A，所述驅動機構A與所述控制器電性連接。

作為優先的，上述適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，在所述限位柱上靠近所述導桿一端以及端部限位板上分別設置有限位開關，所述限位開關分別與所述控制器電性連接。

作為優先的，上述適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，所述驅動機構A為液壓缸、氣缸或者電動缸中的任意一種。

作為優先的，上述適用于多種尺寸基片的圓心定位裝置，所述工作臺上設置有導槽，所述限位板上設置有與所述導槽適配的滑塊。