[實(shí)用新型]Sweep型內(nèi)置吹氣噴嘴硅片干燥設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922465717.4
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN212512117U
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杉原一男
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B25/18;F26B21/00;F26B21/04
• 代理公司: 杭州融方專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33266
• 代理人: 沈相權(quán)

本實(shí)用新型涉及一種Sweep型內(nèi)置吹氣噴嘴硅片干燥設(shè)備，所屬硅片干燥設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括硅片干燥組件，硅片干燥組件外側(cè)設(shè)有空氣烘干機(jī)，空氣烘干機(jī)上端設(shè)有與硅片干燥組件上端相法蘭式管路連通的抽氣管，空氣烘干機(jī)下端與硅片干燥組件側(cè)端間設(shè)有進(jìn)氣管。硅片干燥組件包括硅片干燥箱體，硅片干燥箱體內(nèi)設(shè)有硅片網(wǎng)格掛箱，硅片網(wǎng)格掛箱兩側(cè)下端均設(shè)有滾輪架，滾輪架內(nèi)側(cè)與硅片網(wǎng)格掛箱間均設(shè)有若干支撐滾輪，硅片網(wǎng)格掛箱與進(jìn)氣管間設(shè)有若干與進(jìn)氣管相連通的進(jìn)氣分管，硅片干燥箱體上端設(shè)有與抽氣管相法蘭式管路連通的出氣管。具有結(jié)構(gòu)簡單、干燥效率高和運(yùn)行穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。解決了硅片上水分殘留的問題。提高產(chǎn)品品質(zhì)，達(dá)到較好的清潔及干燥效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片干燥設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種Sweep型內(nèi)置吹氣噴嘴硅片干燥設(shè)備。

背景技術(shù)

在硅片的生產(chǎn)加工過程中，需要對硅片進(jìn)行干燥，現(xiàn)有技術(shù)中的硅片干燥機(jī)大多使用熱風(fēng)干處理，由于硅片存在細(xì)小劃痕、凹痕，會產(chǎn)生殘留液體，及待干燥的硅片表面殘留的液體水膜表面張力較大，上述現(xiàn)有技術(shù)中的硅片干燥機(jī)對硅片的干燥效率低。

現(xiàn)有技術(shù)中還有利用超聲波信號除雜，但是超聲波通常需要在液體環(huán)境中應(yīng)用，在對硅片干燥時(shí)難以應(yīng)用，因此需要一種高效的硅片干燥裝置。由于硅片中殘留液體膜的表面張力作用，干燥殘留液體時(shí)，液體在干燥氣體中的揮發(fā)程度較小，導(dǎo)致對硅片的干燥效率低。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型主要解決現(xiàn)有技術(shù)中存在干燥效率低和運(yùn)行穩(wěn)定性差的不足，提供了一種Sweep型內(nèi)置吹氣噴嘴硅片干燥設(shè)備，其具有結(jié)構(gòu)簡單、干燥效率高和運(yùn)行穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。解決了硅片上水分殘留的問題。提高產(chǎn)品品質(zhì)，達(dá)到較好的清潔及干燥效果。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的：

一種Sweep型內(nèi)置吹氣噴嘴硅片干燥設(shè)備，包括硅片干燥組件，所述的硅片干燥組件外側(cè)設(shè)有空氣烘干機(jī)，所述的空氣烘干機(jī)上端設(shè)有抽氣管，所述的抽氣管與硅片干燥組件上端相法蘭式管路連通，所述的空氣烘干機(jī)下端與硅片干燥組件側(cè)端間設(shè)有進(jìn)氣管。所述的硅片干燥組件包括硅片干燥箱體，所述的硅片干燥箱體內(nèi)設(shè)有硅片網(wǎng)格掛箱，所述的硅片網(wǎng)格掛箱與硅片干燥箱體相活動式抽拉，所述的硅片網(wǎng)格掛箱兩側(cè)下端均設(shè)有滾輪架，所述的滾輪架內(nèi)側(cè)與硅片網(wǎng)格掛箱間均設(shè)有若干支撐滾輪，所述的滾輪架上端與硅片網(wǎng)格掛箱間均設(shè)有若干導(dǎo)向限位撥桿，所述的導(dǎo)向限位撥桿與滾輪架相扭簧式限位嵌套，所述的硅片網(wǎng)格掛箱與進(jìn)氣管間設(shè)有若干與進(jìn)氣管相連通的進(jìn)氣分管，所述的進(jìn)氣分管與進(jìn)氣管間設(shè)有過渡支撐氣管，所述的硅片干燥箱體上端設(shè)有出氣管，所述的出氣管與抽氣管相法蘭式管路連通。

作為優(yōu)選，所述的硅片網(wǎng)格掛箱包括掛箱框架，所述的掛箱框架內(nèi)設(shè)有若干呈等間距的隔板，兩相鄰的隔板間均設(shè)有網(wǎng)格掛袋，所述的網(wǎng)格掛袋與隔板相螺絲緊固且呈弧形結(jié)構(gòu)。

作為優(yōu)選，所述的掛箱框架一端設(shè)有拉把手。

作為優(yōu)選，所述的進(jìn)氣分管上設(shè)有若干呈等間距分布的噴嘴。

作為優(yōu)選，所述的出氣管下端設(shè)有橫截面呈三角形的吸氣斗。

作為優(yōu)選，所述的抽氣管上設(shè)有風(fēng)機(jī)，所述的風(fēng)機(jī)與抽氣管相法蘭式螺栓連接。

作為優(yōu)選，所述的硅片干燥組件端面設(shè)有倉門，所述的倉門與硅片干燥組件相合頁式連接。

作為優(yōu)選，所述的硅片干燥組件下端設(shè)有集水箱，所述的集水箱與硅片干燥組件相連通式法蘭連接固定。

作為優(yōu)選，所述的空氣烘干機(jī)側(cè)邊設(shè)有水汽外排機(jī)，所述的水汽外排機(jī)與空氣烘干機(jī)相連通。

本實(shí)用新型能夠達(dá)到如下效果：