[實用新型]Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備

有效

• 申請號: 201922465717.4
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN212512117U
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 杉原一男
• 申請（專利權）人: 杭州中欣晶圓半導體股份有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B25/18;F26B21/00;F26B21/04
• 代理公司: 杭州融方專利代理事務所(普通合伙) 33266
• 代理人: 沈相權

1.一種Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：包括硅片干燥組件（1），所述的硅片干燥組件（1）外側設有空氣烘干機（6），所述的空氣烘干機（6）上端設有抽氣管（3），所述的抽氣管（3）與硅片干燥組件（1）上端相法蘭式管路連通，所述的空氣烘干機（6）下端與硅片干燥組件（1）側端間設有進氣管（7）；所述的硅片干燥組件（1）包括硅片干燥箱體（9），所述的硅片干燥箱體（9）內設有硅片網格掛箱（12），所述的硅片網格掛箱（12）與硅片干燥箱體（9）相活動式抽拉，所述的硅片網格掛箱（12）兩側下端均設有滾輪架（17），所述的滾輪架（17）內側與硅片網格掛箱（12）間均設有若干支撐滾輪（18），所述的滾輪架（17）上端與硅片網格掛箱（12）間均設有若干導向限位撥桿（16），所述的導向限位撥桿（16）與滾輪架（17）相扭簧式限位嵌套，所述的硅片網格掛箱（12）與進氣管（7）間設有若干與進氣管（7）相連通的進氣分管（14），所述的進氣分管（14）與進氣管（7）間設有過渡支撐氣管（15），所述的硅片干燥箱體（9）上端設有出氣管（11），所述的出氣管（11）與抽氣管（3）相法蘭式管路連通。

2.根據權利要求1所述的Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：所述的硅片網格掛箱（12）包括掛箱框架（19），所述的掛箱框架（19）內設有若干呈等間距的隔板（21），兩相鄰的隔板（21）間均設有網格掛袋（20），所述的網格掛袋（20）與隔板（21）相螺絲緊固且呈弧形結構。

3.根據權利要求2所述的Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：所述的掛箱框架（19）一端設有拉把手（22）。

4.根據權利要求1所述的Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：所述的進氣分管（14）上設有若干呈等間距分布的噴嘴（13）。

5.根據權利要求1所述的Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：所述的出氣管（11）下端設有橫截面呈三角形的吸氣斗（10）。

6.根據權利要求1所述的Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：所述的抽氣管（3）上設有風機（4），所述的風機（4）與抽氣管（3）相法蘭式螺栓連接。

7.根據權利要求1所述的Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：所述的硅片干燥組件（1）端面設有倉門（2），所述的倉門（2）與硅片干燥組件（1）相合頁式連接。

8.根據權利要求1所述的Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：所述的硅片干燥組件（1）下端設有集水箱（5），所述的集水箱（5）與硅片干燥組件（1）相連通式法蘭連接固定。

9.根據權利要求1所述的Sweep型內置吹氣噴嘴硅片干燥設備，其特征在于：所述的空氣烘干機（6）側邊設有水汽外排機（8），所述的水汽外排機（8）與空氣烘干機（6）相連通。