[實用新型]一種改進型防刮傷晶圓轉移裝置

有效

• 申請號: 201922461917.2
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN210837697U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 向俊武;周友;陳小躍;陳浩
• 申請（專利權）人: 安測半導體技術（江蘇）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 南京德銘知識產權代理事務所(普通合伙) 32362
• 代理人: 奚鎏

1.一種改進型防刮傷晶圓轉移裝置，包括底部固定座和上部固定座，設置在底部固定座和上部固定座之間的支柱，設置在底部固定座和上部固定座之間的轉軸，轉軸通過設置在上部固定座上的驅動裝置驅動；其特征在于，所述轉軸上配合安裝有轉動組件，轉動組件的末端配合設置有轉移機構。

2.根據權利要求1所述的一種改進型防刮傷晶圓轉移裝置，其特征在于：所述轉動組件包括上側板和下側板，設置在上側板和下側板近端之間的大帶輪，設置在上側板上面的齒輪箱，齒輪箱與轉軸連接并通過轉軸帶動大帶輪進行轉動。

3.根據權利要求2所述的一種改進型防刮傷晶圓轉移裝置，其特征在于： 所述上側板和下側板的遠端之間還配合設置有小帶輪，小帶輪和大帶輪之間設置有同步齒形帶。

4.根據權利要求2所述的一種改進型防刮傷晶圓轉移裝置，其特征在于： 所述上側板和下側板的中間位置設置有壓緊裝置，所述壓緊裝置包括設置在上側板上的壓緊板，安裝在壓緊板上的氣缸，配合氣缸設置的壓緊輪，所述壓緊輪之間壓緊在同步齒形帶的外面。

5.根據權利要求1所述的一種改進型防刮傷晶圓轉移裝置，其特征在于： 所述轉移機構包括轉移固定板，設置在轉移固定板上的吸盤，配合吸盤設置的抽吸裝置，所述吸盤通過抽吸裝置進行抽吸空氣。

6.根據權利要求2-4任意一項所述的一種改進型防刮傷晶圓轉移裝置，其特征在于：所述上側板的頂部還設置有伸縮氣缸，伸縮氣缸的連桿與吸盤連接，所述伸縮氣缸帶動吸盤進行上下移動。