[實用新型]一種擴散爐用出料裝置

有效

• 申請號: 201922453226.8
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211529925U
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 顏廷福
• 申請（專利權）人: 青島福潤德微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種擴散爐用出料裝置，包括爐體，所述爐體的頂部兩端均固定連接有第一電機，所述第一電機的輸出軸固定連接有第一螺紋桿，兩個所述第一螺紋桿的外表面共同螺紋連接有升降架，所述升降架的兩側均固定連接有滑塊，所述爐體的內壁對應滑塊的位置設置有滑槽，且滑塊與滑槽滑動連接，所述升降架的頂部一側的位置固定連接有第三電機。本實用新型中，旋轉桿能夠帶動半齒輪轉動，半齒輪能夠帶動齒輪轉動，齒輪能夠帶動固定桿轉動，固定桿能夠帶動石英舟轉動，從而可以將石英舟內部的物件自動移出爐體的內部，結構簡單，成本低，便于爐體能夠自動出料，方便人們使用，同時可以使增加擴散的效率。

技術領域

本實用新型涉及出料裝置技術領域，尤其涉及一種擴散爐用出料裝置。

背景技術

擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，擴散爐由控制系統、石英舟系統、爐體加熱系統和氣體控制系統等組成，擴散爐有垂直擴散爐和水平擴散爐兩種類型。

由于擴散爐需要通過高溫對物件進行擴散的一種工藝，但擴散結束后，需要人們取出擴散后的物件，所以需要用到一種擴散爐用出料裝置，現有的擴散爐出料結構非常復雜，其成本也非常高，操作比較繁瑣，使用有一定的不便，有一定的影響。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種擴散爐用出料裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：一種擴散爐用出料裝置，包括爐體，所述爐體的頂部兩端均固定連接有第一電機，所述第一電機的輸出軸固定連接有第一螺紋桿，兩個所述第一螺紋桿的外表面共同螺紋連接有升降架，所述升降架的兩側均固定連接有滑塊，所述爐體的內壁對應滑塊的位置設置有滑槽，且滑塊與滑槽滑動連接，所述升降架的頂部一側的位置固定連接有第三電機，所述第三電機的輸出軸固定連接有第二螺紋桿，所述第二螺紋桿的遠離第三電機的一端轉動連接有固定座，所述第二螺紋桿的外表面螺紋連接有移動板，所述移動板的頂部兩端均固定連接有固定架，兩個所述固定架的內側均通過軸承轉動連接有固定桿，兩個所述固定桿遠離固定架的一端共同固定連接有石英舟，所述固定桿的外表面固定連接有齒輪，所述移動板的頂部固定連接有電機座，所述電機座的頂部固定連接有第二電機，所述第二電機的輸出軸固定連接有旋轉桿，所述旋轉桿遠離固定架的一端固定連接有半齒輪，且半齒輪與齒輪嚙合連接，所述石英舟的底部固定連接有第二磁鐵，所述移動板的頂部對應第二磁鐵的位置固定連接有第一磁鐵。

作為上述技術方案的進一步描述：

所述旋轉桿與固定架貫穿連接。

作為上述技術方案的進一步描述：

所述固定座與升降架固定連接。

作為上述技術方案的進一步描述：

所述移動板與升降架貫穿連接。

作為上述技術方案的進一步描述：

所述爐體的頂部一端設置有進料口，所述爐體的底部另一端設置有出料口。

作為上述技術方案的進一步描述：

兩個所述固定桿位于同一中心軸上。

本實用新型具有如下有益效果：

1、該擴散爐用出料裝置，在使用時，通過設置的第二電機、旋轉桿、半齒輪、齒輪、固定桿與石英舟，第二電機能夠帶動旋轉桿轉動，旋轉桿能夠帶動半齒輪轉動，半齒輪能夠帶動齒輪轉動，齒輪能夠帶動固定桿轉動，固定桿能夠帶動石英舟轉動，從而可以將石英舟內部的物件自動移出爐體的內部，結構簡單，成本低，便于爐體能夠自動出料，方便人們使用，同時可以使增加擴散的效率。