[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散爐用出料裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922453226.8
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211529925U
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏廷福
• 申請（專利權(quán)）人: 青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種擴(kuò)散爐用出料裝置，包括爐體（1），其特征在于：所述爐體（1）的頂部兩端均固定連接有第一電機(jī)（4），所述第一電機(jī)（4）的輸出軸固定連接有第一螺紋桿（5），兩個(gè)所述第一螺紋桿（5）的外表面共同螺紋連接有升降架（7），所述升降架（7）的兩側(cè)均固定連接有滑塊（20），所述爐體（1）的內(nèi)壁對應(yīng)滑塊（20）的位置設(shè)置有滑槽（21），且滑塊（20）與滑槽（21）滑動連接，所述升降架（7）的頂部一側(cè)的位置固定連接有第三電機(jī)（15），所述第三電機(jī)（15）的輸出軸固定連接有第二螺紋桿（16），所述第二螺紋桿（16）的遠(yuǎn)離第三電機(jī)（15）的一端轉(zhuǎn)動連接有固定座（18），所述第二螺紋桿（16）的外表面螺紋連接有移動板（6），所述移動板（6）的頂部兩端均固定連接有固定架（12），兩個(gè)所述固定架（12）的內(nèi)側(cè)均通過軸承轉(zhuǎn)動連接有固定桿（11），兩個(gè)所述固定桿（11）遠(yuǎn)離固定架（12）的一端共同固定連接有石英舟（2），所述固定桿（11）的外表面固定連接有齒輪（10），所述移動板（6）的頂部固定連接有電機(jī)座（9），所述電機(jī)座（9）的頂部固定連接有第二電機(jī)（14），所述第二電機(jī)（14）的輸出軸固定連接有旋轉(zhuǎn)桿（17），所述旋轉(zhuǎn)桿（17）遠(yuǎn)離固定架（12）的一端固定連接有半齒輪（13），且半齒輪（13）與齒輪（10）嚙合連接，所述石英舟（2）的底部固定連接有第二磁鐵（22），所述移動板（6）的頂部對應(yīng)第二磁鐵（22）的位置固定連接有第一磁鐵（19）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐用出料裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)桿（17）與固定架（12）貫穿連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐用出料裝置，其特征在于：所述固定座（18）與升降架（7）固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐用出料裝置，其特征在于：所述移動板（6）與升降架（7）貫穿連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐用出料裝置，其特征在于：所述爐體（1）的頂部一端設(shè)置有進(jìn)料口（3），所述爐體（1）的底部另一端設(shè)置有出料口（8）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐用出料裝置，其特征在于：兩個(gè)所述固定桿（11）位于同一中心軸上。