[實用新型]一種晶片清洗離心機

有效

• 申請號: 201922450698.8
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN212349692U
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 陳正;劉昭;周亮亮
• 申請（專利權）人: 江蘇國源激光智能裝備制造有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 北京化育知識產權代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

一種晶片清洗離心機，包括設備底座，底座上方設有機殼，機殼分為殼身與殼頂。有益效果在于：使用本方案所旨的設計結構，將晶片放置在清洗盒后，按下開關，伸縮桿下沉至裝有清洗液的清洗盤中，驅動電機通電后帶動清洗盤轉動，達到清洗晶片的目的，之后再啟動伸縮桿，配合熱風機的熱風進行干燥，整套流程完畢后抬起殼頂就能夠取出晶片，干燥效果佳。

技術領域

本實用新型屬于晶片干燥技術領域，特別涉及一種晶片清洗離心機。

背景技術

晶片是由晶棒根據設計尺寸切割，再經過車削，研磨，腐蝕等工藝加工成的。晶片表面總有一層由磨料和石英微粒構成的破壞層，再經過腐蝕成型，腐蝕工序加工完成后，則需要進行清洗工序，結束后再用無水乙醇脫水，最后烘干，但現有技術在清洗時受到晶片疊放的影響，會造成晶片清洗不徹底，帶來水印、臟污等問題，同時影響干燥，造成晶片干燥不徹底等問題，一些非烘干清洗機使用的是離心機來解決晶片水分分體，這些離心設備通常內置清洗池，達到清洗甩干一體化的作用，但這些離心設備的清洗液利用率太低，資源浪費嚴重，且清洗桶只靠電機聯動軸支撐，對電機聯動軸造成很大的負擔。

所以，生產者希望研發一種清洗離心機，在使其既能達到清洗晶片的作用又能夠在清洗后使晶片充分脫水干燥，與此同時盡量減少資源浪費和零件損耗。

實用新型內容

本實用新型的目的就在于提出一種晶片清洗離心機，該清洗離心機能夠使內部晶片在得到充分清洗的同時還能夠得到干燥，在一定程度上降低資源損耗且不易損壞。

為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：

一種晶片清洗離心機，包括設備底座，所述底座上方設有機殼，所述機殼分為殼身與殼頂，所述殼身連接所述殼頂與所述底座，所述底座表面設有截面為半圓的凹紋，所述凹紋內設有支撐球，所述底座下方設有驅動電機，所述驅動電機聯動支撐軸，所述支撐軸穿過所述底座，所述支撐軸頂端設有清洗底盤，所述清洗底盤貼合所述支撐球，所述清洗底盤側面設有側板，所述側板靠近所述清洗底盤處設有出液管，所述殼身設有疏水管及進水管，所述出水管通過軟管連接過濾裝置，所述過濾裝置一端通過軟管連接所述疏水管，另一端通過軟管連接所述進水管，所述殼身與所述底座固定連接，所述殼頂底面設有凹槽，所述殼頂通過所述凹槽卡合在所屬殼身上，所述殼頂設有熱風機，所述熱風機設有若干風道，所述風道穿過所述殼頂與所述底座水平垂直，所述風道末端位于所述側板上方，所述熱風機與所述殼頂間設有電機座，所述電機座聯動電控伸縮桿，所述伸縮桿穿過所述殼頂，所述伸縮桿上設有支撐件，所述支撐件末端設有清洗盒。

進一步的，所述凹槽內設有密封圈。

進一步的，所述清洗盒為鏤空網狀清洗盒。

進一步的，所述風道上設有若干出風管口，所述出風管口均向所述伸縮桿軸心設置。

進一步的，所述底座下方設有穩定支架。

進一步的，所述電機座一旁設有電控開關，所述開關控制所述電控伸縮桿。

本實用新型的有益效果在于：使用本方案所旨的設計結構，將晶片放置在清洗盒后，按下開關，伸縮桿下沉至裝有清洗液的清洗盤中，驅動電機通電后帶動清洗盤轉動，達到清洗晶片的目的，之后再啟動伸縮桿，配合熱風機的熱風進行干燥，整套流程完畢后抬起殼頂就能夠取出晶片，干燥效果佳。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型伸縮桿俯視圖；

圖中標記為：1-底座、2-機殼、3-過濾裝置、11-支撐球、12-驅動電機、13-支撐軸、14-清洗底盤、15-側板、16-出液管、21-殼身、 22-殼頂、23-疏水管、24-進水管、25-熱風機、26-風道、27-電機座、 28-伸縮桿、261-出風管口、281-支撐件、282-清洗盒。