[實用新型]集成電路器件刻除裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922434986.4
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN211088220U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳國軍
• 申請（專利權(quán)）人: 上海翔芯集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海合進知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31324
• 代理人: 王壽剛

1.集成電路器件刻除裝置，其特征在于，包括底座板(1)、下模仁(2)、導(dǎo)柱(4)、上連接板(6)、上模板(9)和刻除裝置(10)，所述下模仁(2)通過連接架(3)固定連接在所述底座板(1)的頂面，多個所述導(dǎo)柱(4)連接在所述底座板(1)的頂面，所述上連接板(6)貫穿所述導(dǎo)柱(4)并和所述導(dǎo)柱(4)滑動連接，所述上連接板(6)的底面連接有上模板(9)，所述上模板(9)和所述上連接板(6)之間連接有多個彈簧座(7)；

所述上模板(9)上設(shè)有多個貫穿所述上模板(9)的連接通孔(91)，所述刻除裝置(10)和所述上模板(9)的連接通孔(91)可拆卸連接；工件連接在所述下模仁(2)內(nèi)，上模板(9)下降帶動所述刻除裝置(10)對工件刻除。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件刻除裝置，其特征在于，所述下模仁(2)包括模仁主體(21)、定位柱(23)、通槽(24)，所述模仁主體(21)的頂面設(shè)有模仁腔(22)，所述定位柱(23)連接在所述模仁腔(22)內(nèi)，所述通槽(24)貫穿所述模仁主體(21)并和所述模仁腔(22)相連通；工件通過定位柱(23)固定在所述模仁腔(22)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件刻除裝置，其特征在于，所述上連接板(6)的底面上還連接有限位擋塊(8)，所述限位擋塊(8)的長度小于所述彈簧座(7)處于自然狀態(tài)下的長度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件刻除裝置，其特征在于，所述導(dǎo)柱(4)的頂端螺栓連接有限位座(11)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件刻除裝置，其特征在于，所述刻除裝置(10)包括螺桿(101)和刀頭(102)，所述刀頭(102)連接在所述螺桿(101)的一端，所述螺桿(101)通過螺母和所述連接通孔(91)相連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件刻除裝置，其特征在于，所述底座板(1)上還連接有豎板(15)，所述豎板(15)上連接有氣缸座(16)，所述氣缸座(16)上連接有氣缸(17)，所述氣缸(17)的輸出軸和所述上連接板(6)的頂面相連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的集成電路器件刻除裝置，其特征在于，所述上連接板(6)的兩側(cè)連接有滑塊(14)，所述豎板(15)上還連接有連接座(12)，所述連接座(12)上固定有滑軌(13)，所述滑塊(14)和所述滑軌(13)滑動連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的集成電路器件刻除裝置，其特征在于，所述滑軌(13)和所述導(dǎo)柱(4)的設(shè)置方向相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路器件刻除裝置，其特征在于，所述上連接板(6)的頂面連接有把手。