[實用新型]一種襯底基板沉積面朝上放置的有機真空沉積系統

有效

• 申請號: 201922434762.3
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN212025442U
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 王燕東;王文沖;遲力峰
• 申請（專利權）人: 蘇州馳鳴納米技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50;C23C14/04
• 代理公司: 宿遷市永泰睿博知識產權代理事務所(普通合伙) 32264
• 代理人: 劉慧

本實用新型公開了一種襯底基板沉積面朝上放置的有機真空沉積系統，包括真空腔體，所述真空腔體的底部貫穿有樣品架，所述樣品架的表面與真空腔體固定連接，所述樣品架的頂部固定連接有襯底基板，所述襯底基板的頂部活動連接有薄膜沉積襯底，所述薄膜沉積襯底的頂部活動連接有遮擋板。本實用新型通過襯底基板、薄膜沉積襯底、遮擋板和樣品架的配合使用，能夠實現解決有機功能器件中使用遮擋板過程中遮擋板因重力而變形，從而導致圖案失真的情況，而且有利于放置多個任意形狀的襯底而無需固定，能夠方便地取放樣品，更好的增加了裝置的便利性，提高了納米鍍膜工作的效率，更好的增加了裝置的實用性。

技術領域

本實用新型涉及納米鍍膜技術領域，具體為一種襯底基板沉積面朝上放置的有機真空沉積系統。

背景技術

納米鍍膜是一種汽車鍍膜美容，其漆面保護效果十分明顯，可以避免車漆氧化，達到漆面增亮、抗酸堿、抗氧化、抗紫外線等多重功效，現有的有機真空沉積系統在有機功能器件中遮擋板會因重力而變形，從而導致圖案失真，而且樣品需要固定，取放困難。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種襯底基板沉積面朝上放置的有機真空沉積系統，具備在使用遮擋板的過程中不受重力影響且取樣方便的優點，解決了現有的有機真空沉積系統在有機功能器件中遮擋板會因重力而變形，從而導致圖案失真，而且樣品需要固定，取放困難的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種襯底基板沉積面朝上放置的有機真空沉積系統，包括真空腔體，所述真空腔體的底部貫穿有樣品架，所述樣品架的表面與真空腔體固定連接，所述樣品架的頂部固定連接有襯底基板，所述襯底基板的頂部活動連接有薄膜沉積襯底，所述薄膜沉積襯底的頂部活動連接有遮擋板。

優選的，所述樣品架的形狀為長方體，所述襯底基板的形狀為長方體，且樣品架底面的長度和寬度均小于襯底基板的長度和寬度。

優選的，所述薄膜沉積襯底的加工面方向朝向上，且薄膜沉積襯底在襯底基板頂部表面內，所述薄膜沉積襯底在重力的作用下直接放置在襯底基板上，不需要固定。

優選的，所述遮擋板的形狀為長方體，且遮擋板的長度和寬度均大于襯底基板的長度和寬度。

優選的，所述真空腔體頂部的兩側均貫穿有蒸發源，所述蒸發源的表面與真空腔體固定連接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型通過襯底基板、薄膜沉積襯底、遮擋板和樣品架的配合使用，能夠實現解決有機功能器件中使用遮擋板過程中遮擋板因重力而變形，從而導致圖案失真的情況，而且有利于放置多個任意形狀的襯底而無需固定，能夠方便地取放樣品，更好的增加了裝置的便利性，提高了納米鍍膜工作的效率，更好的增加了裝置的實用性。

2、本實用新型通過設置蒸發源，能夠保證為納米鍍膜過程提供鍍膜原料，更好的便于加工工作的進行，更好的增加了裝置的實用性，通過設置真空腔體，能夠實現為納米鍍膜工作提供真空環境，更好的保證了加工工作的進行，更好的增加了裝置的實用性。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型外觀結構示意圖。

圖中：1、真空腔體；2、樣品架；3、襯底基板；4、薄膜沉積襯底；5、遮擋板；6、蒸發源。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。