[實(shí)用新型]一種硅片腐蝕過程中化學(xué)液溫度恒溫控制系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922431204.1
• 申請(qǐng)日: 2019-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN210897217U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王海君;代玉超;李魯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/306
• 代理公司: 洛陽公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120
• 代理人: 陳佳麗

一種硅片腐蝕過程中化學(xué)液溫度恒溫控制系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體材料生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，包括恒溫槽、腐蝕槽、熱水槽以及冷水槽，腐蝕槽所在位置高于恒溫槽，恒溫槽和腐蝕槽之間通過根管道連通，其中一根管道上設(shè)有化學(xué)液泵，用于從恒溫槽向腐蝕槽輸送化學(xué)液，另一根管道用于腐蝕槽內(nèi)的化學(xué)液依靠重力流回恒溫槽，恒溫槽內(nèi)設(shè)有溫度調(diào)節(jié)管。本實(shí)用新型有益效果：通過控制恒溫槽內(nèi)化學(xué)液溫度，經(jīng)過化學(xué)液泵循環(huán)均勻攪拌，最終有效的保證腐蝕槽內(nèi)的化學(xué)液各區(qū)間溫度恒定，同時(shí)大大節(jié)省腐蝕槽的空間，充分利用腐蝕槽工作空間。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體材料生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片腐蝕過程中化學(xué)液溫度恒溫控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體硅拋光片制造過程中，硅晶片經(jīng)過雙面磨片機(jī)研磨之后，由于磨粉顆粒和上磨板正向壓力的作用，總會(huì)在硅晶片表面有一層薄層的損傷層，這些由于機(jī)械加工過程使晶格破壞造成的硅晶片表面損傷大約10～20μm。在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)制造領(lǐng)域，通常是通過化學(xué)腐蝕硅晶片表面的方法來消除這種研磨產(chǎn)生的表面晶格結(jié)構(gòu)損傷。化學(xué)腐蝕的方法分為堿腐蝕和酸腐蝕兩種，這兩種方法目前都在使用。酸腐蝕所用酸腐蝕液是由硝酸（HNO3）、氫氟酸（HF）以及緩沖劑按照一定比例混合而成即混酸，緩沖劑一般使用冰乙酸（CH3COOH）或磷酸（H3PO4）。目前，所用的腐蝕機(jī)多為進(jìn)口設(shè)備，每次腐蝕硅片多達(dá)75片，腐蝕槽內(nèi)化學(xué)液有200L左右，腐蝕槽內(nèi)化學(xué)液溫度直接影響腐蝕質(zhì)量，因此腐蝕槽內(nèi)化學(xué)液溫度控制至關(guān)重要，腐蝕槽內(nèi)化學(xué)液量大，空間有限，直接在腐蝕槽加裝溫度控制管路，會(huì)導(dǎo)致硅片腐蝕的工作區(qū)間減少，且直接進(jìn)行熱交換會(huì)出現(xiàn)腐蝕槽內(nèi)區(qū)間溫度變化過大，造成腐蝕槽內(nèi)化學(xué)液區(qū)間溫度不同，導(dǎo)致硅片腐蝕質(zhì)量一致性不好，因此腐蝕槽內(nèi)化學(xué)液溫度不易控制。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片腐蝕過程中化學(xué)液溫度恒溫控制系統(tǒng)，解決現(xiàn)有化學(xué)腐蝕機(jī)腐蝕槽內(nèi)存在的化學(xué)液溫度不易控制的問題。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種硅片腐蝕過程中化學(xué)液溫度恒溫控制系統(tǒng)，包括恒溫槽、腐蝕槽、熱水槽以及冷水槽，腐蝕槽所在位置高于恒溫槽，恒溫槽和腐蝕槽之間通過根管道連通，其中一根管道上設(shè)有化學(xué)液泵，用于從恒溫槽向腐蝕槽輸送化學(xué)液，另一根管道用于腐蝕槽內(nèi)的化學(xué)液依靠重力流回恒溫槽，恒溫槽內(nèi)設(shè)有溫度調(diào)節(jié)管，冷水槽的進(jìn)水管和回水管分別與溫度調(diào)節(jié)管的進(jìn)水口和出水口連接，熱水槽的進(jìn)水管和回水管分別與溫度調(diào)節(jié)管的進(jìn)水口和出水口連接，冷水槽的進(jìn)水管和回水管上分別安裝冷水閥A和冷水閥B，熱水槽的進(jìn)水管和回水管上分別安裝熱水閥A和熱水閥D。

本實(shí)用新型所述恒溫槽的容積為400L。

本實(shí)用新型所述冷水槽的進(jìn)水管上安裝冷水泵，熱水槽的進(jìn)水管上安裝熱水泵。

本實(shí)用新型所述溫度調(diào)節(jié)管為PFA軟管。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型提供了一種全新的恒溫控制方式，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、安全可靠的優(yōu)點(diǎn)。通過控制恒溫槽內(nèi)化學(xué)液溫度，經(jīng)過化學(xué)液泵循環(huán)均勻攪拌，最終有效的保證腐蝕槽內(nèi)的化學(xué)液各區(qū)間溫度恒定，同時(shí)大大節(jié)省腐蝕槽的空間，充分利用腐蝕槽工作空間。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型化學(xué)液溫度恒溫控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)記：1、恒溫槽， 2、腐蝕槽， 3、冷水槽，4、熱水槽，5、化學(xué)液泵，6、冷水泵，7、熱水泵，8、溫度調(diào)節(jié)管，9、冷水閥A，10、冷水閥B ，11、熱水閥A，12、熱水閥B。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合說明書附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的闡述和說明。