[實用新型]一種硅片腐蝕過程中化學液溫度恒溫控制系統

有效

• 申請號: 201922431204.1
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN210897217U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 王海君;代玉超;李魯
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/306
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 陳佳麗

1.一種硅片腐蝕過程中化學液溫度恒溫控制系統，其特征在于：包括恒溫槽（1）、腐蝕槽（2）、熱水槽（4）以及冷水槽（3），腐蝕槽（2）所在位置高于恒溫槽（1），恒溫槽（1）和腐蝕槽（2）之間通過2根管道連通，其中一根管道上設有化學液泵（5），用于從恒溫槽（1）向腐蝕槽（2）輸送化學液，另一根管道用于腐蝕槽（2）內的化學液依靠重力流回恒溫槽（1），恒溫槽（1）內設有溫度調節管（8），冷水槽（3）的進水管和回水管分別與溫度調節管（8）的進水口和出水口連接，熱水槽（4）的進水管和回水管分別與溫度調節管（8）的進水口和出水口連接，冷水槽（3）的進水管和回水管上分別安裝冷水閥A（9）和冷水閥B（10），熱水槽（4）的進水管和回水管上分別安裝熱水閥A（11）和熱水閥B（12）。

2.根據權利要求 1所述的一種硅片腐蝕過程中化學液溫度恒溫控制系統，其特征在于：所述恒溫槽（1）的容積為400L。

3.根據權利要求1所述的一種硅片腐蝕過程中化學液溫度恒溫控制系統，其特征在于：所述冷水槽（3）的進水管上安裝冷水泵（6），熱水槽（4）的進水管上安裝熱水泵（7）。

4.根據權利要求1所述的一種硅片腐蝕過程中化學液溫度恒溫控制系統，其特征在于：所述溫度調節管（8）為PFA軟管。