[實用新型]MEMS麥克風及電子裝置

有效

• 申請號: 201922429487.6
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN210986419U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 王景雪
• 申請（專利權）人: 歌爾微電子有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R3/00
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 王迎;袁文婷

1.一種MEMS麥克風，包括具有背腔的襯底以及絕緣設置在所述襯底上的振膜；其特征在于，

所述振膜包括固定在所述襯底上的支撐部以及位于所述支撐部內且懸設在所述背腔中的感應部；并且，

在所述支撐部與所述感應部的結合處設置有應力宣泄部。

2.如權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，

所述應力宣泄部為矩形凹槽/凸起、V形凹槽/凸起或弧形凹槽/凸起。

3.如權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，

所述應力宣泄部固定在所述襯底上；或者，所述應力宣泄部懸設在所述背腔內；或者，所述應力宣泄部局部固定在所述襯底上，局部懸設在所述背腔內。

4.如權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，

所述支撐部、所述感應部與所述應力宣泄部為一體成型結構。

5.如權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括背極；

所述背極設置在所述振膜的上側和/或下側；

所述振膜與所述背極形成平行板電容器結構。

6.如權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，

所述振膜設置有至少兩個；

在相鄰設置的兩振膜之間設置有背極。

7.如權利要求5或6所述的MEMS麥克風，其特征在于，

在所述振膜與所述背極之間設置有支撐層，在所述振膜與所述襯底之間設置有絕緣層。

8.如權利要求7所述的MEMS麥克風，其特征在于，

在所述背極上設置有與外界電路導通的焊盤；

所述焊盤通過連接線與所述振膜導通。

9.如權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，

在所述感應部上設置有通孔及凹凸狀的振紋。

10.一種電子裝置，其特征在于，包括如權利要求1至9任一項所述的MEMS麥克風。