[實用新型]一種等離子刻蝕尾氣處理裝置

有效

• 申請號: 201922425134.9
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN211864532U
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 陳正;劉昭;周亮亮
• 申請（專利權）人: 江蘇國源激光智能裝備制造有限公司
• 主分類號: B01D53/79
• 分類號: B01D53/79;B01D53/96
• 代理公司: 北京化育知識產權代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

本實用新型公開了一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，風機通過進風管與等離子刻蝕腔連接，風機通過出風管與尾氣處理箱的側壁連接，尾氣處理箱的內壁頂部設有噴頭，尾氣處理箱底部設有排液口，排液口通過排液管連接有過濾箱，過濾箱通過回液管連接有處理液箱，處理液箱內盛放有處理液，處理液箱通過電機與噴頭連接，排液口還連接有排氣管，該裝置結構簡單、方便實用環保，尾氣進入尾氣處理箱內與噴頭噴灑的處理液充分接觸，使得尾氣中的有害物質處理的更徹底，錐形的尾氣處理箱底部使得顆粒物不會在底部淤積，而且排氣管設置在排液口處更使得未處理的尾氣不會逸出，處理液再經過濾箱過濾后經電機從新抽送到噴頭內噴出，使得處理液可以充分利用。

技術領域

本實用新型屬于等離子刻蝕技術領域，特別涉及一種等離子刻蝕尾氣處理裝置。

背景技術

等離子刻蝕是利用射頻電源使反應氣體生成反應活性高的離子和電子，對二氧化硅晶片進行物理轟擊及化學反應，以選擇性的去除部分區域，被刻蝕的物質變成揮發性的氣體，經抽氣裝置抽離進入尾氣處理裝置。

等離子刻蝕產生的尾氣中包含未反應氣體，反應中間產物及反應產生物質等，直接排入大氣會造成污染，需要經過尾氣處理裝置處理后才可以排入大氣。現有的等離子刻蝕的尾氣處理裝置在尾氣進入處理裝置后，尾氣直接通入處理液中然后經排氣管排出，因為尾氣在處理液中以氣泡形式存在，導致尾氣與處理液接觸不充分會使得尾氣中的污染大氣物質處理不徹底，排入大氣中還會造成一定程度的污染。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，解決現有的等離子刻蝕的尾氣與處理液接觸不充分會使得尾氣中的污染大氣物質處理不徹底，排入大氣中還會造成一定程度的污染的問題。

本實用新型采用如下技術方案：

一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，包括等離子刻蝕腔、風機、尾氣處理箱和處理液箱，所述風機通過進風管與等離子刻蝕腔連接，所述風機通過出風管與所述尾氣處理箱的側壁連接，所述尾氣處理箱的內壁頂部設有噴頭，所述尾氣處理箱底部設有排液口，所述排液口通過排液管連接有過濾箱，所述過濾箱通過回液管連接有處理液箱，所述處理液箱內盛放有處理液，所述處理液箱通過電機與所述噴頭連接，所述排液口還連接有排氣管。

進一步的，所述噴頭至少有兩個，多個噴頭噴灑更全面，不留死角。

進一步的，所述噴頭均勻分布在尾氣處理箱的內壁頂部，噴水均勻，更充分的處理尾氣中的有害物質。

進一步的，所述尾氣處理箱底部呈倒置圓錐狀，使得雜質不會再尾氣處理箱底部淤積。

進一步的，所述過濾箱內設有濾網，過濾處理液中的較大顆粒，防止堵塞噴頭。

本實用新型的優點在于：該裝置結構簡單、方便實用環保，尾氣進入尾氣處理箱內與噴頭噴灑的處理液充分接觸，使得尾氣中的有害物質處理的更徹底，錐形的尾氣處理箱底部使得顆粒物不會在底部淤積，而且排氣管設置在排液口處更使得未處理的尾氣不會逸出，處理液再經過濾箱過濾后經電機從新抽送到噴頭內噴出，使得處理液可以充分利用，更環保，節約成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的過濾箱結構示意圖。

圖中，1-等離子刻蝕腔、2-風機、3-尾氣處理箱、4-處理液箱、5-進風管、6-出風管、7-噴頭、8-排液口、9-排液管、10-過濾箱、11-回液管、12-電機、13-排氣管、14-濾網。

具體實施方式