[實用新型]一種等離子刻蝕尾氣處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922425134.9
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN211864532U
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳正;劉昭;周亮亮
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇國源激光智能裝備制造有限公司
• 主分類號: B01D53/79
• 分類號: B01D53/79;B01D53/96
• 代理公司: 北京化育知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

本實用新型公開了一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，風(fēng)機通過進(jìn)風(fēng)管與等離子刻蝕腔連接，風(fēng)機通過出風(fēng)管與尾氣處理箱的側(cè)壁連接，尾氣處理箱的內(nèi)壁頂部設(shè)有噴頭，尾氣處理箱底部設(shè)有排液口，排液口通過排液管連接有過濾箱，過濾箱通過回液管連接有處理液箱，處理液箱內(nèi)盛放有處理液，處理液箱通過電機與噴頭連接，排液口還連接有排氣管，該裝置結(jié)構(gòu)簡單、方便實用環(huán)保，尾氣進(jìn)入尾氣處理箱內(nèi)與噴頭噴灑的處理液充分接觸，使得尾氣中的有害物質(zhì)處理的更徹底，錐形的尾氣處理箱底部使得顆粒物不會在底部淤積，而且排氣管設(shè)置在排液口處更使得未處理的尾氣不會逸出，處理液再經(jīng)過濾箱過濾后經(jīng)電機從新抽送到噴頭內(nèi)噴出，使得處理液可以充分利用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于等離子刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種等離子刻蝕尾氣處理裝置。

背景技術(shù)

等離子刻蝕是利用射頻電源使反應(yīng)氣體生成反應(yīng)活性高的離子和電子，對二氧化硅晶片進(jìn)行物理轟擊及化學(xué)反應(yīng)，以選擇性的去除部分區(qū)域，被刻蝕的物質(zhì)變成揮發(fā)性的氣體，經(jīng)抽氣裝置抽離進(jìn)入尾氣處理裝置。

等離子刻蝕產(chǎn)生的尾氣中包含未反應(yīng)氣體，反應(yīng)中間產(chǎn)物及反應(yīng)產(chǎn)生物質(zhì)等，直接排入大氣會造成污染，需要經(jīng)過尾氣處理裝置處理后才可以排入大氣。現(xiàn)有的等離子刻蝕的尾氣處理裝置在尾氣進(jìn)入處理裝置后，尾氣直接通入處理液中然后經(jīng)排氣管排出，因為尾氣在處理液中以氣泡形式存在，導(dǎo)致尾氣與處理液接觸不充分會使得尾氣中的污染大氣物質(zhì)處理不徹底，排入大氣中還會造成一定程度的污染。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，解決現(xiàn)有的等離子刻蝕的尾氣與處理液接觸不充分會使得尾氣中的污染大氣物質(zhì)處理不徹底，排入大氣中還會造成一定程度的污染的問題。

本實用新型采用如下技術(shù)方案：

一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，包括等離子刻蝕腔、風(fēng)機、尾氣處理箱和處理液箱，所述風(fēng)機通過進(jìn)風(fēng)管與等離子刻蝕腔連接，所述風(fēng)機通過出風(fēng)管與所述尾氣處理箱的側(cè)壁連接，所述尾氣處理箱的內(nèi)壁頂部設(shè)有噴頭，所述尾氣處理箱底部設(shè)有排液口，所述排液口通過排液管連接有過濾箱，所述過濾箱通過回液管連接有處理液箱，所述處理液箱內(nèi)盛放有處理液，所述處理液箱通過電機與所述噴頭連接，所述排液口還連接有排氣管。

進(jìn)一步的，所述噴頭至少有兩個，多個噴頭噴灑更全面，不留死角。

進(jìn)一步的，所述噴頭均勻分布在尾氣處理箱的內(nèi)壁頂部，噴水均勻，更充分的處理尾氣中的有害物質(zhì)。

進(jìn)一步的，所述尾氣處理箱底部呈倒置圓錐狀，使得雜質(zhì)不會再尾氣處理箱底部淤積。

進(jìn)一步的，所述過濾箱內(nèi)設(shè)有濾網(wǎng)，過濾處理液中的較大顆粒，防止堵塞噴頭。

本實用新型的優(yōu)點在于：該裝置結(jié)構(gòu)簡單、方便實用環(huán)保，尾氣進(jìn)入尾氣處理箱內(nèi)與噴頭噴灑的處理液充分接觸，使得尾氣中的有害物質(zhì)處理的更徹底，錐形的尾氣處理箱底部使得顆粒物不會在底部淤積，而且排氣管設(shè)置在排液口處更使得未處理的尾氣不會逸出，處理液再經(jīng)過濾箱過濾后經(jīng)電機從新抽送到噴頭內(nèi)噴出，使得處理液可以充分利用，更環(huán)保，節(jié)約成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的過濾箱結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1-等離子刻蝕腔、2-風(fēng)機、3-尾氣處理箱、4-處理液箱、5-進(jìn)風(fēng)管、6-出風(fēng)管、7-噴頭、8-排液口、9-排液管、10-過濾箱、11-回液管、12-電機、13-排氣管、14-濾網(wǎng)。

具體實施方式