[實(shí)用新型]一種等離子刻蝕尾氣處理裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201922425134.9 | 申請(qǐng)日： | 2019-12-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN211864532U | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-11-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳正;劉昭;周亮亮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇國(guó)源激光智能裝備制造有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B01D53/79 | 分類號(hào)： | B01D53/79;B01D53/96 |
| 代理公司： | 北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 223800 江蘇省宿遷市宿*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 等離子 刻蝕 尾氣 處理 裝置 | ||
1.一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，其特征在于：包括等離子刻蝕腔、風(fēng)機(jī)、尾氣處理箱和處理液箱，所述風(fēng)機(jī)通過(guò)進(jìn)風(fēng)管與等離子刻蝕腔連接，所述風(fēng)機(jī)通過(guò)出風(fēng)管與所述尾氣處理箱的側(cè)壁連接，所述尾氣處理箱的內(nèi)壁頂部設(shè)有噴頭，所述尾氣處理箱底部設(shè)有排液口，所述排液口通過(guò)排液管連接有過(guò)濾箱，所述過(guò)濾箱通過(guò)回液管連接有處理液箱，所述處理液箱內(nèi)盛放有處理液，所述處理液箱通過(guò)電機(jī)與所述噴頭連接，所述排液口還連接有排氣管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，其特征在于：所述噴頭至少有兩個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，其特征在于：所述噴頭均勻分布在尾氣處理箱的內(nèi)壁頂部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，其特征在于：所述尾氣處理箱底部呈倒置圓錐狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子刻蝕尾氣處理裝置，其特征在于：所述過(guò)濾箱內(nèi)設(shè)有濾網(wǎng)。
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