[實用新型]一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統

有效

• 申請號: 201922422436.0
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN211018775U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 謝尚平;吳延劍
• 申請（專利權）人: 珠海東精大電子科技有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;G05D27/02;C01B21/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種氮氣純度高和氮氣輸出壓力穩定的用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統。本實用新型包括依次相連接的的空壓機、第一儲氣罐、冷干機、微熱再生吸干機、第二儲氣罐、制氮組件、氮氣儲氣罐組件和烤膠爐，烤膠爐內鋪設有若干個石英晶體，氮氣儲氣罐組件包括第一氮氣儲氣罐和第二氮氣儲氣罐，第二氮氣儲氣罐與第一氮氣儲氣罐之間為串聯連接，第一氮氣儲氣罐和第二氮氣儲氣罐均與烤膠爐相連接，且第一氮氣儲氣罐與烤膠爐之間和第二氮氣儲氣罐與烤膠爐之間均設置有流量計。本實用新型應用于制氮系統的技術領域。

技術領域

本實用新型涉及一種制氮系統,特別涉及一種用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統。

背景技術

目前石英晶體諧振器熱處理的制氮設備是由空壓機產氣、干燥空壓氣送入自動制氮機，自動制氮機是有A塔和B塔切換再生制氮，在A塔工作時、空壓氣由A塔閥門下端氣體通過分子篩制造純氮經管路連接儲氣罐，制氮運行時間為3分鐘，進行切換關閉A塔閥門，再由B塔閥門下端氣體通過分子篩制造純氮經管路連接儲氣罐，制氮運行時間為3分鐘，AB塔重復交換制氮、制氮機每小時產氣150方，由管路聯接儲氣罐，可進行調節輸出氣量到用氣設備。由于用氮氣端流量較大，而現狀是烤膠爐氣壓壓力偏低,一個3方儲氣罐輸出氣壓是通過一組滿程為每小時150方流量計輸出，實際上流量計輸出每小時只有70方，使得烤膠爐氮氣壓在0.15-0.19MPA之間，而烤膠爐氮氣壓正常工作時需要大于0.3MPA才能符合要求。供應石英晶體諧振器熱處理設備為烤膠爐石英晶體諧振器高溫280度爐膛經過，且需要純氮氣對烤膠爐爐膛進行充注80PPM以下純度的氮氣，且氮氣壓大于0.3MPA壓力，才能確保石英晶體諧振器、晶片表面銀層作電極，但在現有設備上由于氮氣壓力不穩定，容易出現波動，對烤膠爐爐膛流注的氮氣難以確保純度及壓力情況下，導致烤膠爐爐膛內的石英晶體諧振器、晶片表面銀層作電極氧化，使合格率下降,如果純度及壓力長時間未能得到恢復，甚至總個烤膠爐爐膛內的石英晶體諧振器報廢。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供了一種氮氣純度高和氮氣輸出壓力穩定的用于石英晶體諧振器熱處理的制氮系統。

本實用新型所采用的技術方案是：本實用新型包括依次相連接的的空壓機、第一儲氣罐、冷干機、微熱再生吸干機、第二儲氣罐、制氮組件、氮氣儲氣罐組件和烤膠爐，所述烤膠爐內鋪設有若干個石英晶體，所述制氮組件包括A塔自動制氮機和B塔自動制氮機，所述A塔自動制氮機和所述B塔自動制氮機之間并聯連接，所述第二儲氣罐與所述A塔自動制氮機之間和所述第二儲氣罐與所述B塔自動制氮機之間均設置有第一電動閥門，所述氮氣儲氣罐組件包括第一氮氣儲氣罐和第二氮氣儲氣罐，所述第二氮氣儲氣罐與所述第一氮氣儲氣罐之間為串聯連接，所述第一氮氣儲氣罐和所述第二氮氣儲氣罐均與所述烤膠爐相連接，且所述第一氮氣儲氣罐與所述烤膠爐之間和所述第二氮氣儲氣罐與所述烤膠爐之間均設置有流量計。

進一步的，所述制氮系統還包括MCU控制器，所述MCU控制器均與所述空壓機、所述第一儲氣罐、所述冷干機、所述微熱再生吸干機、所述第二儲氣罐、所述制氮組件、所述氮氣儲氣罐組件和烤膠爐電性連接。

進一步的，所述第一氮氣儲氣罐和所述第二氮氣儲氣罐容積均為3立方。

進一步的，所述流量計為玻璃轉子流量計，所述玻璃轉子流量計的滿程為每小時150立方。

進一步的，所述第一氮氣儲氣罐與所述A塔自動制氮機之間和所述第一氮氣儲氣罐與所述B塔自動制氮機之間均設置有第二電動閥門。

進一步的，所述烤膠爐內設置有壓力檢測器，所述壓力檢測器與所述MCU控制器電性連接。